熱蒸發(fā)鍍膜
NTE-3000熱蒸發(fā)系統概述：NANO-MASTER NTE-3000是***款PC計算機控制的臺式熱蒸發(fā)系統，在有機物和金屬沉積方面具有廣泛的應用。設備的設計經(jīng)過(guò)非常慎重的考慮:在小的占地面積情況下實(shí)現干凈、均勻、可控及可重復的工藝過(guò)程。它們具有低價(jià)格, 高性能以及高能力的特點(diǎn)，可滿(mǎn)足于客戶(hù)研發(fā)及小規模生產(chǎn)的應用要求。 NTE-3000熱蒸發(fā)系統可以在設定的RMS電流下，或者在閉環(huán)的配置下操作，并且在這種情況下沉積速度的變化被用于調節RMS電流以維持恒定的沉積速度。
NTE-3000蒸發(fā)系統是***個(gè)臺式系統，跟我們的濺射系統共享***個(gè)共同的平臺；比如：櫥柜，腔體，真空系統，計算機控制架構等方面都是***樣的。的區別是***個(gè)使用磁控管，另***個(gè)使用加熱坩堝. 因此，在我們?yōu)R射系統上的許多技術(shù)同樣適用到我們的熱蒸發(fā)系統中，比如：樣品臺的加熱，旋轉，偏斜；涂覆前的等離子清洗，膜厚監測，序列或同時(shí)操作多源；鐘罩、鋁或不銹鋼腔體；預真空鎖以及自動(dòng)裝片/取片系統等。
NTE-3000跟NSC-3000很像, 除了樣片臺是在頂部并且樣片是面朝下固定。因為有許多的共同點(diǎn)，我們可以提供NTS系列的系統(NTS-3000, NTS-4000)，具有濺射和蒸發(fā)兩種能力。通過(guò)計算機控制系統，我們可以在同***套系統上提供濺射和蒸發(fā)能力，這樣可以充分利用濺射和蒸發(fā)技術(shù)，而無(wú)須中斷真空。
Nano-Master的蒸發(fā)系統的另***大獨特優(yōu)勢是持續性地控制加熱器電流，而不是震蕩式控制加熱器。系統裝配固態(tài)電流控制電路，這點(diǎn)跟許多系統采用的自藕變壓器不同。在該系統中，電流或者RMS值的持續時(shí)間被控制。用戶(hù)可以選擇***個(gè)設定值，它實(shí)際上是設定交流電半周期的部分，會(huì )出現跟鎢加熱器電線(xiàn)的交叉。這樣，系統可以實(shí)現精確快速的電流控制，這使得閉環(huán)溫度控制就可以實(shí)現。此外，電流控制以及溫度控制，可以滿(mǎn)足蒸發(fā)的苛刻要求，無(wú)論是對有機材料還是對金屬。我們測量坩堝TB的RMS電壓，RMS電流，和溫度，并通過(guò)熱電偶TC跟坩堝底部接觸的方式測量溫度?？折釄宓募訜釋?shí)驗結果如下圖所示，這些加熱實(shí)驗結果是在208V線(xiàn)電壓下進(jìn)行的。電流和電壓(沒(méi)有顯示)通過(guò)RMS儀表測量。
通過(guò)以上的溫度與電流的關(guān)系，我們可以設定并控制電流以達到坩堝內想要的溫度，溫度可以通過(guò)熱電偶來(lái)測量。材料防止在坩堝中熱損失和加熱時(shí)間的常量將會(huì )發(fā)生變化，然而坩堝內的溫度和熱電偶的測量值之間的關(guān)系將不會(huì )變化。因此，我們的技術(shù)可以實(shí)現坩堝內的溫度不依賴(lài)于大部分放入的材料，甚至不受線(xiàn)電壓值的影響。
NTE-3000熱蒸發(fā)系統產(chǎn)品特點(diǎn)：
NTE-3000熱蒸發(fā)系統相似產(chǎn)品型號：
NTE-4000 基于PC計算機全自動(dòng)控制的獨立系統
NTE-3500 基于PC計算機全自動(dòng)控制的緊湊型獨立系統
NTE-3000 基于PC計算機全自動(dòng)控制的雙蒸發(fā)源臺式系統
NTE-1000 計算機控制的單蒸發(fā)源臺式系統
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
