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9J光切法顯微鏡以光切法測量和觀(guān)察機械制造中零件加工表面的微觀(guān)幾何形狀；在不破壞表面的條件下，測出截面輪廓的微觀(guān)平面度和溝槽寬度的實(shí)際尺寸；此外，還可測量表面上個(gè)別位置的加工痕跡和破損。本儀器適用于測量1.0-80um表面粗糙度，但只能對外表面進(jìn)行測定；如需對內表面進(jìn)行測定，，而又不破壞被測零件時(shí)，則可用***塊膠體把被測面模印下來(lái)，然后測量模印下來(lái)的膠體的表面。

9J光切法顯微鏡主要技術(shù)參數
儀器的示值相對誤差（分段計）              5%-24%
攝像裝置放大倍數                                ≈6×           
測量平面度范圍                         ≈（0.2-25）um
平面寬度
用測微目鏡                        ≈（0.0007-2.5）mm
用坐標工作臺                         ≈（0.01-13）mm
儀器質(zhì)量                                       ≈23kg
儀器外形尺寸（l×b×h）mm               180×290×470

儀器的成套性：