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奧林巴斯工具顯微鏡STM7

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成貫儀器——顯微系統、光學(xué)儀器、外科手術(shù)設備、實(shí)驗室耗材等供應商【(廖澤陽(yáng))15026562346】

成貫儀器(上海)有限公司是奧林巴斯顯微鏡、光學(xué)儀器、外科手術(shù)設備等供應商,常年提供原裝日本(Japan)進(jìn)口的olympus奧林巴斯顯微鏡,客戶(hù)遍及上海,江蘇(蘇州、昆山、無(wú)錫、常州、南通、泰州、揚州、南京、淮安、徐州),浙江(嘉興、湖州、杭州、紹興、寧波、臺州、溫州、義烏、金華、衢州),安徽(黃山、宣城、蕪湖、合肥、蚌埠、阜陽(yáng)),湖北(武漢、荊州、宜昌),湖南(長(cháng)沙、株洲、湘潭),江西(九江、南昌、樟樹(shù)、贛州),福建(寧德、三明、龍巖、福州、廈門(mén)、泉州),廣東(汕頭、惠州、深圳、東莞、廣州、佛山、中山、珠海),廣西(南寧、桂林),海南(???、三亞),貴州(貴陽(yáng)、遵義),云南(昆明、大理、麗江),西藏(拉薩)、新疆(烏魯木齊)、青海(西寧)、甘肅(蘭州、酒泉)、寧夏(銀川)、青海(西寧)、陜西(西安)、重慶、四川(成都、綿陽(yáng))、河南(焦作、鄭州、許昌、商丘、洛陽(yáng)),山西(太原、臨汾)、山東(威海、煙臺、青島、濰坊、淄博、濟南、泰安、臨沂),天津、河北(石***莊、邯鄲、秦皇島、唐山),北京、內蒙古(呼和浩特、包頭、鄂爾多斯)、遼寧(大連、丹東、營(yíng)口、沈陽(yáng)、葫蘆島),吉林(吉林、長(cháng)春)、黑龍江(哈爾濱、大慶、牡丹江、雞西)等***內大中城市。

值得高度信賴(lài)的STM7測量顯微鏡——

以長(cháng)達***個(gè)世紀之久的奧林巴斯技術(shù)為依托

STM7測量顯微鏡系列采用了歷代奧林巴斯的技術(shù),并借鑒了長(cháng)達***個(gè)多世紀顯微鏡研發(fā)和50多年測量顯微鏡研發(fā)的經(jīng)驗,品質(zhì)值得信賴(lài)。

• 卓越的光學(xué)技術(shù)實(shí)現對極細微樣品的逼真成像。

• 的測量技術(shù)實(shí)現對樣品的準確測量。

• 自動(dòng)聚焦和聚焦導航系統使測量更簡(jiǎn)單、更精確。

• 全面的可追溯系統可以提供可靠和可信賴(lài)的測量。

因此,多年來(lái),奧林巴斯測量顯微鏡***直廣受用戶(hù)的青睞。

奧林巴斯測量顯微鏡STM7

 

 

STM7通過(guò)整合光學(xué)顯微鏡和的測量能力實(shí)現精確測量

多年的顯微鏡開(kāi)發(fā)經(jīng)驗成就了優(yōu)異的觀(guān)察性能

奧林巴斯測量顯微鏡STM7系列采用了當前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無(wú)限遠校正光學(xué)系統。因此,觀(guān)察到的圖像具有高分辨率和高對比度,此外,像差也被完全消除,以確保實(shí)現對微小細節的高精度測量。 

明場(chǎng)圖像 暗場(chǎng)圖像
明場(chǎng)圖像               暗場(chǎng)圖像

 

微分干涉圖像 偏光圖像
微分干涉圖像            偏光圖像

 

花崗巖精雕細琢而成的載物臺基座增強了測量的可靠性

為了進(jìn)***步保證測量精度,STM7系列采用了***個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩定性,使測量可到達亞微米水平,同時(shí)確保程度地降低誤差。

STM7-LF FEM 分析

STM7-LF FEM分析

 

作為高度測量的先鋒,繼續提供簡(jiǎn)單易操作的高精度3軸測量

隨著(zhù)現代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量,而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成為******成功開(kāi)發(fā)了測量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統的公司,以此響應了這種與日俱增的需求。

共聚焦自動(dòng)聚焦系統光路
主動(dòng)反射,共聚焦自動(dòng)聚焦系統光路

 

嚴格的可追溯系統確保品質(zhì)可靠

奧林巴斯通過(guò)***個(gè)嚴格的可追溯系統控制測量顯微鏡的精確度。并且在安裝系統時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準服務(wù)。

測量顯微鏡溯源系統

測量顯微鏡溯源系統

 

STM7的陣容

每***種機型均配備0.1 μm讀數的3軸測量系統

手動(dòng)Z軸調焦機型

奧林巴斯測量顯微鏡STM7-SF

STM7-SF

配備50mm×50mm的載物臺或100mm×100mm的載物臺


奧林巴斯工具顯微鏡STM7-MF

STM7-MF

配備200mm×200mm的載物臺


奧林巴斯測量顯微鏡STM7-LF

STM7-LF

配備300mm×300mm的載物臺

 

電動(dòng)Z軸調焦機型

奧林巴斯工具顯微鏡STM7-SFA

STM7-SFA

配備50mm×50mm的載物臺或100mm×100mm的載物臺 


奧林巴斯測量顯微鏡STM7-MFA

STM7-MFA

配備200mm×200mm的載物臺

 

奧林巴斯工具顯微鏡STM7-LFA 

STM7-LFA

配備300mm×300mm的載物臺

 

STM7在設計上非常重視易用性

提供適合您樣品尺寸的載物臺

常見(jiàn)問(wèn)題

·         短測量行程無(wú)法滿(mǎn)足較大樣品的測量需求。

·         目前為止,大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程,但是Y軸的行程仍然較小。在測量過(guò)程中需要通過(guò)旋轉樣品來(lái)補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,這樣的做法費事費時(shí),效率不高。

·         由于可測量的范圍窄,無(wú)法將數量較多的樣品排列在載物臺上,以實(shí)現***次性同時(shí)測量。

 

STM7解決方案

·         共有四種獨特的正方形測量行程的載物臺可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100 mm,200 mm x 200 mm,和300 mm x 300 mm)。不管是大的樣品還是小的樣品,總有***款載物臺會(huì )適合您要測量的樣品。

·         采用離合器系統可以在粗調和微調之間實(shí)現快速切換。具備了這種切換功能之后,載物臺也可以沿著(zhù)X軸和Y軸方向迅速移動(dòng),并且可以在XY平面上自由穿梭。

·         300 mm長(cháng)的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程,這意味著(zhù)可以不旋轉樣品就實(shí)現大型樣品的全部測量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。

 

STM7-CS50載物臺 STM7-CS100載物臺
 STM7-CS50(50mm x 50mm)      STM7-CS100(100mm x 100mm)


 
 

STM7-CS200載物臺 STM7-CS300載物臺
 STM7-CS200(200 mm x 200 mm)   STM7-CS300(300 mm x 300 mm)
 
 

使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀(guān)察

常見(jiàn)問(wèn)題

·         大部分傳統的測量顯微鏡只可以專(zhuān)用測量物鏡或專(zhuān)用金相物鏡,無(wú)法同時(shí)滿(mǎn)足多種觀(guān)察要求。

 

STM7解決方案

·         STM7可以通過(guò)安裝***個(gè)測量物鏡適配器使用測量物鏡,而更換為物鏡轉盤(pán)后,便可使用金相物鏡。這意味著(zhù),STM7將金相光學(xué)系統和測量光學(xué)系統同時(shí)結合在***臺測量顯微鏡中。通過(guò)這種方式,無(wú)論是測量大型樣品還是精細樣品,或是表面高度差異大的樣品,STM7系列都可以對應并協(xié)助用戶(hù)選擇*佳的觀(guān)察方法。

 

測量物鏡

由于測量物鏡具有非常長(cháng)的工作距離,因此可以在對表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時(shí)候,無(wú)需擔心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外,借助測量物鏡的低倍率能力,可以***次觀(guān)察到較大的視場(chǎng)。

可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀(guān)察能力。更重要的是,在明場(chǎng)觀(guān)察之外還可以對應暗場(chǎng),偏光和微分干涉觀(guān)察。

金相物鏡 電路板

金相物鏡

 

 明場(chǎng)圖像  暗場(chǎng)圖像

明場(chǎng)圖像                  暗場(chǎng)圖像

 

手動(dòng)調焦和電動(dòng)調焦兩種鏡架可供選擇

STM7系列包括手動(dòng)調焦和電動(dòng)調焦兩個(gè)系列

聚焦控制提供手動(dòng)型和電動(dòng)型兩種可選方案。請根據樣品和測量?jì)热葸x擇符合您需求的機型,而不需要考慮載物臺的尺寸。所有的鏡架均內置Z軸線(xiàn)性標尺,各種型號STM7都可以對應3軸測量。

 

手動(dòng)Z軸調焦機型

手動(dòng)Z軸調焦機型提供了卓越的成本效益——通過(guò)操作被廣泛使用的調焦旋鈕,可以快速的上下移動(dòng)Z軸。為測量具有各種高度樣品的用戶(hù)提供了方便。

手動(dòng)Z軸調焦機型

 

電動(dòng)Z軸調焦機型

使用電動(dòng)調焦裝置可以大幅提高操作性,并減少了進(jìn)行聚焦和高度測量時(shí)的操作疲勞。粗微調焦的同軸旋鈕設計使使用者可以以習慣的類(lèi)似手動(dòng)的方式進(jìn)行操作,同時(shí)電動(dòng)機型還可以配備自動(dòng)聚焦單元。

電動(dòng)Z軸調焦機型

 

***個(gè)具有突破性設計的控制單元大幅提升了測量顯微鏡的操作性

常見(jiàn)問(wèn)題

·         其他功能需要添置額外的操作單元。操作者無(wú)法快速找到相應的操作單元,因而顯著(zhù)降低測量效率。

·         眾多操作裝置和電源箱、控制箱散布在主機的周?chē)?,占用了寶貴的工作空間。

 

STM7解決方案

操作裝置

對于奧林巴斯測量顯微鏡STM7系列,只要使用單***的操作裝置能夠執行幾乎所有的測量顯微鏡操作,包括重置計數器、照明控制、調焦和自動(dòng)聚焦等功能。為了提高效率和方便性,您可以將裝置放在任何想要放置的位置,并可以輕松地單手操作。

 

控制箱

各個(gè)單元的電源和通信均被集成在***個(gè)單***的控制箱中。即使是添加***些可選功能比如聚焦導航功能也不需要增加額外的電源裝置,這樣的設計可以程度地減少占用工作空間。

STM7-HS手動(dòng)操作裝置  
用于手動(dòng)Z軸調焦機型:STM7-HS手動(dòng)操作裝置  

 

STM7-MCZ電動(dòng)操作裝置

用于電動(dòng)Z軸調焦機型:STM7-MCZ電動(dòng)操作裝置

 

大大提高了觀(guān)察和測量效率的光源管理器

常見(jiàn)問(wèn)題

·         傳統測量顯微鏡使用的模擬旋鈕調節方式不能實(shí)現光強的定量控制。這樣每次測量時(shí)的光強無(wú)法保持***致,導致測量值也發(fā)生變化。

·         使用傳統測量顯微鏡時(shí),每次切換物鏡后都需要調節光強,這使得工作流程非常低效。

 

STM7解決方案

能夠定量掌握光源亮度的數字式顯示

STM7的光強可定量顯示,這樣就能保證始終在相同條件下實(shí)施觀(guān)察和測量。

STM7顯示器

 

物鏡切換時(shí),無(wú)需手動(dòng)調節光強
 光強度管理器可以與編碼物鏡轉盤(pán)配置配套使用。帶編碼物鏡轉盤(pán)會(huì )自動(dòng)識別目前使用的物鏡,結合光源管理器的預設值功能,可以為每個(gè)物鏡注冊照明方式和光強。這樣每當切換物鏡后,可以自動(dòng)調節光強和調整照明方式。象以前每次切換倍率后手動(dòng)調節光強的操作,現在就可以省略了。

 

5x物鏡光強 50 20x物鏡光強 70 100x物鏡光強 120

 5x物鏡光強50       20x物鏡光強70     100x物鏡光強120
 
 

可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計數器,確保能隨時(shí)迅速地檢查測量結果和設備狀態(tài)。

常見(jiàn)問(wèn)題

·         需要檢查諸如照明狀態(tài)等設備運行狀以及測量結果時(shí),因為是在不同單元上顯示使操作變得非常繁瑣。

 

STM7解決方案

能***目了然確認當前狀態(tài)的計數器

計數器帶有顯示設備狀態(tài)和設置的指示燈,可以簡(jiǎn)單的實(shí)現對設備當前設定狀態(tài)的確認。X、Y和Z軸的*小單位可以在0.1 μm和1 μm之間切換,此外,還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。

計數器安裝在鏡架上

計數器安裝在鏡架上 

 

可滿(mǎn)足個(gè)性化需求自由放置的可拆卸式計數器

無(wú)論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺上,可拆卸式計數器都可以根據用戶(hù)的使用狀況和使用習慣放置在優(yōu)選位置。當用戶(hù)站著(zhù)進(jìn)行測量時(shí),可以將計數器安裝在和觀(guān)察位置大致相同高度的鏡架***側,以方便輕松的觀(guān)察和檢查結果。當用戶(hù)通過(guò)數碼相機在顯示器上進(jìn)行觀(guān)察和測量,或使用電動(dòng)Z軸調焦機型時(shí),只需將計數器和操作裝置放在工作臺上即可輕松地坐在椅子上進(jìn)行作業(yè)。

計數器放置在工作臺上

計數器放置在工作臺上

 

自動(dòng)聚焦系統具有卓越的重復性

實(shí)現更快、更簡(jiǎn)單、更精確的高度測量

常見(jiàn)問(wèn)題

·         進(jìn)行目視測量時(shí),不同的操作者會(huì )測得不同的高度測量值。此外,這種測量方法非常耗時(shí),效率低下。

 

STM7解決方案

具有優(yōu)越的重復性、簡(jiǎn)單且高度精確的聚焦系統

通過(guò)將圖案投影在視場(chǎng)范圍內,由操作者確認上下圖案的重合情況,奧林巴斯的聚焦導航系統實(shí)現了重復性高的高度測量操作。普通的目測觀(guān)察進(jìn)行高度測量時(shí),即使是看上去非常清晰的已經(jīng)完全合焦的圖像,也會(huì )出現微小誤差。而使用STM7的聚焦導航系統,只需匹配標記便可進(jìn)行測量,因此減少了操作者的主觀(guān)性對測量結果造成的影響。

目視高度測量 
 目視高度測量

 

聚焦導航系統 
焦點(diǎn)下方 焦點(diǎn)位置 焦點(diǎn)上方

 焦點(diǎn)下方           焦點(diǎn)位置          焦點(diǎn)上方

 

自動(dòng)聚焦的優(yōu)勢成就快速、高精度的高度測量

常見(jiàn)問(wèn)題

·         進(jìn)行目視測量時(shí),不同的操作者得出的高度測量結果也會(huì )不***樣。

·         手動(dòng)高度測量需要操作者反復進(jìn)行移動(dòng)載物臺,使用旋鈕調焦的操作,這使測量既耗時(shí)又低效。 

·         很難對微小的物體聚焦,比如引線(xiàn)。

 

STM7解決方案

專(zhuān)用自動(dòng)對焦單元:出色的再現性和聚焦速度

無(wú)論操作者的經(jīng)驗如何,使用STM7專(zhuān)用自動(dòng)對焦單元均可以在*短時(shí)間內實(shí)現高度精確的高度測量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面,利用主動(dòng)反射、共聚焦方法都可以實(shí)現穩定對焦,而小直徑的激光,也能保證對微小物體,比如引線(xiàn)的自動(dòng)對焦。

 

單次對焦模式

執行自動(dòng)聚焦后,可瞬間完成從大致的聚焦狀態(tài)轉為視場(chǎng)中心的清晰對焦。

自動(dòng)聚焦 清晰對焦
 
 

追蹤模式

啟用具有特色的追蹤模式后會(huì )隨樣品表面的高低起伏自動(dòng)對焦,即使在移動(dòng)工作臺的情況下,也可以始終保持合焦狀態(tài)。這使得操作者在手不需要離開(kāi)X和Y手柄的情況下也能實(shí)施觀(guān)察,從而極大地提高了Z軸的測量效率。

 

實(shí)現觀(guān)察與測量范圍拓展的配件

帶編碼物鏡轉盤(pán)

將編碼物鏡轉盤(pán)與數碼照相機配套使用可以在觀(guān)察過(guò)程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率,以方便您記錄倍率。同時(shí)切換倍率時(shí)也能與軟件中記錄的校準值和光強連動(dòng)調整設置。有明場(chǎng)物鏡和明暗場(chǎng)物鏡兩種供您選擇

編碼物鏡轉盤(pán)

 

MM6-EMO /正像單目鏡筒

正立圖像用單目鏡筒??膳cMM6-OCC10×(帶十字線(xiàn)的目鏡)配套使用。

MM6-EMO正像單目鏡筒

 

STM7-FS/ 腳踏開(kāi)關(guān)

實(shí)現了不需要用手進(jìn)行數據傳輸,使操作者可以在手不離開(kāi)X和Y手柄的情況下完成測量。

STM7-FS腳踏開(kāi)關(guān)

 

SZ-LW61/ 白光LED照明單元

具有小型,輕便,使用壽命長(cháng),功耗低等特點(diǎn)。此外,這款高性?xún)r(jià)比的LED照明單元也不會(huì )發(fā)生閃爍和亮度波動(dòng)。

SZ-LW61白光LED照明環(huán)形燈

 

SZX2-ILR66+SZX-RHS/LED環(huán)形照明裝置+手動(dòng)控制單元

SZX-RHS手動(dòng)控制單元可以實(shí)現SZX2-ILR66反射LED環(huán)形照明裝置的四段獨立照明,并提供具有較高色溫的清晰圖像??梢詮?3種模式中選擇*佳的照明。

SZX2-ILR66 LED環(huán)形照明裝置

 

旋轉載物臺

使用微調旋鈕可以輕松實(shí)現對樣品的平行對齊。

STM7-RS100旋轉載物臺 

STM7-RS100用STM7-CS100 100 mm×100 mm載物臺


STM7-RS200旋轉載物臺

STM7-RS200用于STM7-CS200 200 mm×200 mm載物臺

 

STM7-RS300旋轉載物臺
STM7-RS300用于STM7-CS300 300 mm×300mm載物臺

 

專(zhuān)為更測量而設計的系統

測量支持系統

對于顯示測量顯微鏡輸出的數據和圖像來(lái)說(shuō),看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測量。推動(dòng)以更高精度實(shí)現復雜的測量正是開(kāi)發(fā)全新奧林巴斯測量軟件的原因所在。該軟件亦可與數碼相機結合使用。

測量系統

 

放置樣品后即可開(kāi)始測量——無(wú)需將樣品平行對齊

直接測量

接受STM7輸出的坐標信息進(jìn)行測量。

STM7直接測量STM7中心點(diǎn)計算


 

再調用測量

經(jīng)過(guò)測量或計算之后得到的坐標還可以再用于隨后的測量。這樣就避免了重復同樣的工作,從而實(shí)現了更順暢和更高效的工作流程。

再調用測量

直線(xiàn)計算

 

虛擬點(diǎn)測量

通過(guò)繪制直線(xiàn)和圓形可以形成交點(diǎn)、中點(diǎn)、長(cháng)度,以及***系列其它的測量項,然后可以在已采集的樣品圖像上將這些測量項作為參考點(diǎn)保留。

虛擬點(diǎn)測量

 

對齊測量

原點(diǎn)與X軸均可根據樣品而設置,這樣即使當樣品沒(méi)有和載物臺對齊平行時(shí),也可以進(jìn)行測量。

對齊測量

 

原來(lái)的軸 新軸

原來(lái)的軸                 新軸

 

XZ平面測量

傳統的測量顯微鏡以從俯視觀(guān)察到的XY平面的測量為主。為了響應用戶(hù)從側視的角度測量斷面方向的需求,奧林巴斯在STM7-BSW中內置了XZ平面測量功能。以前很難實(shí)施的測量現在已經(jīng)變得容易多了——例如半球形物體垂直截面的半徑測量,或與基準線(xiàn)相比具有彎曲底部的凹槽的深度測量等。

XZ平面測量

 

半球形樣品的半徑測量 凹槽底部與參考線(xiàn)之間的高度測量

半球形樣品的半徑測量      凹槽底部與參考線(xiàn)之間的高度測量

 

記錄重復測量的步驟

宏注冊

可以將經(jīng)常使用的對齊和其它測量步驟組合并定義成單個(gè)宏按鈕,這樣每次啟動(dòng)顯微鏡后,無(wú)需從零開(kāi)始。

宏注冊

 

重復執行測量

通過(guò)根據已記錄的教學(xué)列表的指示,簡(jiǎn)單地移動(dòng)載物臺、獲取坐標值,可以輕松地進(jìn)行重復測量,完成所有的作業(yè)。此功能可用于對相同類(lèi)型樣品重復執行相同的測量項目。此外,如果在已記錄的教學(xué)列表中設置了設定值和公差,當測量值超過(guò)規格時(shí),軟件可以自動(dòng)判定。

測量結果

NG結果示例

 

重復執行測量的測量點(diǎn)導航

這個(gè)功能可以顯示移動(dòng)到下***個(gè)測量點(diǎn)的方向和距離,從而消除了操作者在這***環(huán)節上的苦惱。該功能還省去了每此移動(dòng)前需要在圖紙上確認下***個(gè)測量點(diǎn)的麻煩,在重復測量的時(shí)候提高了操作者作業(yè)的速度。

重復執行測量的測量點(diǎn)導航 測量點(diǎn)導航

 

STM7導航指示器的變化

 

可以消除測量過(guò)程中主觀(guān)性影響的便捷功能

自動(dòng)邊緣檢測

這個(gè)功能檢測樣品的邊緣,自動(dòng)獲取樣品的坐標并測量。因此,操作者不再需要指定坐標,這程度地降低了操作者的主觀(guān)性對測量的影響。自動(dòng)邊緣檢測的另外***個(gè)特色是具有定時(shí)功能,實(shí)現了到規定的時(shí)間后自動(dòng)獲取坐標。定時(shí)功能和腳踏開(kāi)關(guān)功能,使操作者能夠在手不需要離開(kāi)載物臺手柄的情況下專(zhuān)心測量。

圓形內的自動(dòng)邊緣檢測 多點(diǎn)自動(dòng)邊緣檢測

圓形內的自動(dòng)邊緣檢測         多點(diǎn)自動(dòng)邊緣檢測

 

異常點(diǎn)消除

邊緣檢測過(guò)程中,可以自動(dòng)將金屬毛刺等異常點(diǎn)排除在外。這樣,不管樣品的狀態(tài)如何,都會(huì )得出***致的測量值計算結果。此外,也可以將被排除的異常點(diǎn)以不同的顏色顯示在屏幕上。

帶有異常點(diǎn)的樣品 異常點(diǎn)消除功能

帶有異常點(diǎn)的樣品             異常點(diǎn)消除功能

 

照明控制

顯微鏡照明的光強也可以通過(guò)軟件精確地控制。當注冊重復執行測量的教學(xué)列表時(shí),也可以保存光強的設置,這樣在重復執行測量或自動(dòng)邊緣檢測過(guò)程中,實(shí)現了在相同的照明條件下實(shí)施測量。

照明控制

 

自動(dòng)倍率識別(可選配,僅適用于編碼物鏡轉盤(pán)的配置)

通過(guò)使用編碼物鏡轉盤(pán),在切換物鏡時(shí),可以自動(dòng)調用先前設定好的校準值。這樣可以始終在顯示器上顯示合適的刻度尺。

自動(dòng)倍率識別

 

生成定制報告

***鍵生成報告

測量結果可以***鍵輸出為Excel格式,這避免了在記錄數據過(guò)程中發(fā)生錯誤的可能性。圖像也可以與測量結果***起粘貼,從而實(shí)現了更高效地生成報告。

生成定制報告

 

可選功能:多圖拼接(MIA)功能

拼接多個(gè)圖像可以獲得***個(gè)具有高倍率的廣域圖像。因為圖像是根據坐標數據拼接而成,因此系統能夠產(chǎn)生高可靠度的圖像。

多圖拼接 多圖拼接

 

可選功能:景深擴展(EFI)功能

對于具有不均勻、復雜表面形狀的樣品,EFI功能能非常有效地獲取在整個(gè)高度范圍內都有良好聚焦的圖像。使用EFI功能時(shí),移動(dòng)Z軸獲得多張不同焦點(diǎn)位置的圖像,再進(jìn)行圖像處理,*后合成為***張全面對焦的圖像。如果使用電動(dòng)Z軸模塊可以實(shí)現***鍵自動(dòng)圖像合成。

景深擴展

STM7規格參數

 


小型鏡架

中型鏡架

大型鏡架

光學(xué)系統

UIS2光學(xué)系統(無(wú)限遠校正)

顯微鏡鏡架

觀(guān)察方法

BF/DF/DIC/KPO*1

反射/透射

反射/透射

照明系統

白色:用于反射光照明,綠色:用于透射光照明,功耗:10W

聚焦

電動(dòng)/手動(dòng)

手動(dòng) [手動(dòng)型]

電動(dòng) [電動(dòng)型]

行程

175 mm

145 mm*2

FOCUS按鈕: 粗移速度

8 mm/s [電動(dòng)型](來(lái)源:成貫儀器)

微調焦速度 (可變)

800 μm/400 μm/200 μm/50 μm(旋轉***周移動(dòng)量)4檔可選[電動(dòng)型]

測量高度

175 mm*3, 120 mm*4

145 mm*3,90 mm*4

物鏡

測量物鏡/金相物鏡

觀(guān)察筒

正像單目鏡筒,正像三目筒(100:0/0:100)

載物臺

行程

50(X)x50(Y)mm

200(X)x200(Y)mm

300(X)x300(Y)mm

100(X)x100(Y)mm

測量精度

50 mm行程:(3+L/50)μm

(3+4L/200)μm

(3+6L/300)μm

100 mm行程:(3+L/100)μm



計數器顯示

軸數

3軸

單位

毫米/微米/英寸/密耳

計數器顯示> 

*小分辨率

0.1μm(來(lái)源:成貫儀器)

外形尺寸

[手動(dòng)型]

466(寬)x583(長(cháng))x651(高)mm

606(寬)x762(長(cháng))x651(高)mm

804(寬)x1024(長(cháng))x686(高)mm

[電動(dòng)型]

466(寬)x583(長(cháng))x811(高)mm

606(寬)x762(長(cháng))x811(高)mm

804(寬)x1024(長(cháng))x844(高)mm

重量

[手動(dòng)型]

約84kg

約152kg

約277kg

[電動(dòng)型]

約92kg

約159kg

約284kg

備注

*1:簡(jiǎn)易偏光觀(guān)察 
*2:使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí),可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。(來(lái)源:成貫儀器)
*3:采用金相顯微鏡使用的物鏡
*4:采用測量顯微鏡使用的物鏡




產(chǎn)品參數


產(chǎn)品介紹



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