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6JA干涉顯微鏡是用來(lái)測量精密加工零件表面（平面、圓柱等外表面）光潔度的儀器。也可以用來(lái)測量零件表面刻線(xiàn)、刻槽鍍層（透明）等深度。儀器配以各種附件，還能測量粒狀，加工紋路混亂的表面，低反射率的工件表面。同時(shí)還能將儀器安置在工件上，對大型工件表面進(jìn)行測量。儀器測量表面不平深度范圍為1-0.03微米，用測微目鏡和照明方法來(lái)評定10-14光潔度的表面。本儀器適用于廠(chǎng)礦企業(yè)計量室，精密加工車(chē)間，也適用于高等院校，科學(xué)研究單位。
二、技術(shù)指標

目鏡：測微目鏡12.5X，測微鼓輪分劃值0.01mm
儀器放大倍數：500X
儀器視場(chǎng)：ф0.25
物鏡：數值孔徑0.65mm，工作距離0.5mm
標準鏡：高反射率≈50%，低反射率≈4%
工作臺：升降范圍5mm，XY方向移動(dòng)范圍≈10mm，360度旋轉
綠色干涉濾色片：波長(cháng)λ≈5300A，半寬度≈100A
測量表面光潔度范圍：10-14（相當于測量表面不平深度范圍為0.1um-0.03um）
光源：電珠燈泡6V15W，亮度可調