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Profilm 3D光學(xué)輪廓儀

低成本–高精度

Filmetrics讓3D光學(xué)輪廓測量的價(jià)格變得更加能夠接受。Profilm3D使用zui先進(jìn)的垂直干涉掃描(WLI)與高精度的相位干涉(PSI)技術(shù)。以前所未有的價(jià)格實(shí)現次納米***的表面形貌研究。

100mm自動(dòng)X(jué)Y樣品臺

您還在位每人都希望要的功能而支付額外的費用嗎？我們現在每臺Profilm3D都將100mm自動(dòng)X(jué)Y樣品臺，4孔物鏡轉臺和手動(dòng)調平裝置作為標準配置。

超大的視場(chǎng)范圍

Profilm3D僅用10倍物鏡就提供了達到2mm的超大視場(chǎng)范圍，同時(shí)其***大4倍光學(xué)變焦的功能緩解了不同應用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需求。這些都進(jìn)***步降低了采購成本。

1特征值

28 μm臺階高度

3精確度是指每天測量30次10um臺階高度標樣的1次標準差，連續成功測量20天的平均值。環(huán)境溫度穩定性小于1°C。

穩定性是指連續成功測量10um臺階高度標樣20天，取每天測量30次數值的平均值，計算2倍標準差。環(huán)境溫度穩定性小于1°C。

4所有變焦縮放后的有效像素為648 x 484 (通過(guò)數位化的pixel binning實(shí)現)

5分開(kāi)銷(xiāo)售

6樣品上投影的像素大小

7樣品表面粗糙時(shí)可測***大傾角將更大