激光掃描輪廓儀
n產(chǎn)品介紹
μscan系列機臺采用模塊化設計,特點(diǎn)是快速測量、不接觸、不破壞、自動(dòng)化。主要應用于材料表面的三維輪廓測量,粗糙度測量,寬度,高度,角度,半徑、粗糙度等二維、三維數據分析。能直接測量較大面積的樣品,而不用通過(guò)拼接。
μScan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器(Z方向測量)連用,如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是連接CF4激光共聚焦傳感器。
CF4激光共聚焦傳感器內,被照亮的小孔成像在被測量的表面,激光光束經(jīng)由物鏡迅速上下移動(dòng)聚焦于待測物上,只有當焦平面和真實(shí)表面的點(diǎn)配對的時(shí)候,探測器才記錄到***個(gè)表面信號。因此物鏡得通過(guò)小的垂直步位移動(dòng),使信號通過(guò)位移傳感器的位置移動(dòng)被測出。根據特殊的內插技術(shù),該系統的精度能達到10nm以下。
n應用
ü集成電路封裝和表面貼裝:快速獲得封裝翹曲變形、引線(xiàn)共面性、粗糙度、焊料的體積、引線(xiàn)輪廓。
ü厚膜混合電路:膜厚度的自動(dòng)化測量
ü精密部件:測量精密五金配件、塑料、半導體材料的輪廓、粗糙度等
n技術(shù)參數
1.測量原理:非接觸,激光共聚焦
2.掃描模塊:
2.1XY方向測量范圍50X50mm/100X100mm/150X100mm/200X200mm(可選),馬達驅動(dòng)
2.2XY方向平臺分辨率0.5um
2.3Z方向位移范圍100mm
2.4***大測量速度50mm/S.
3.傳感器模塊
3.1共聚焦傳感器,激光光源1.5μm spot size,1 kHz data rate
3.2Z方向分辨率0,02um
3.3XY方向分辨率1um,可連續***次掃描成像,***大范圍達到200mmX200mm
3.4工作距離4mm
3.5Z方向測量范圍1mm
4系統配置
4.1計算機:高性能計算機控制系統;
4.2配有專(zhuān)業(yè)工作臺,尺寸L1000 x H750 x W800 (mm)
4.3可為CF傳感器選配離軸攝像頭(10X),***大視野8 x 6 mm2
4.4功能全面的軟件
4.5數據分析:輪廓測量、寬度,高度,角度,半徑、粗糙度等二維、三維數據分析