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HORIBA UVISEL Plus研究***經(jīng)典型橢偏儀 

儀器簡(jiǎn)介：

橢圓偏振光譜是***種無(wú)損無(wú)接觸的光學(xué)測量技術(shù)，基于測量線(xiàn)偏振光經(jīng)過(guò)薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變，通過(guò)模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學(xué)性質(zhì)等等，可測厚度范圍為幾埃至幾十微米。此外，還可以測試材料的反射率及透過(guò)率。

技術(shù)參數：

* 光譜范圍: 190-885 nm（可擴展至2100nm）

*微光斑可選50μm-100μm-1mm

*探測器：分別針對紫外，可見(jiàn)和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測器

*自動(dòng)樣品臺尺寸：多種樣品臺可選

*自動(dòng)量角器：變角范圍40° - 90°，全自動(dòng)調整，小步長(cháng)0.01°

主要特點(diǎn)：

*50KHz 高頻PEM 相調制技術(shù)，測量光路中無(wú)運動(dòng)部件

*具備超薄膜所需的測量精度，超厚膜所需的高光譜分辨率

*具有毫秒***超快動(dòng)態(tài)采集模式，可用于在線(xiàn)實(shí)時(shí)監測

*自動(dòng)平臺樣品掃描成像、變溫臺、電化學(xué)反應池、液體池、密封池等多種附件

*配置靈活