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SuperATW 超薄窗口，10mm2 活區；
在MnKα 處的分辨率: 優(yōu)于133eV；
自動(dòng)液氮水平監視器以及報警系統；
分析元素范圍：Be4-U92
不使用能譜儀時(shí)無(wú)需加液氮，即真正的熱循環(huán)探測器；
專(zhuān)利的探測器自動(dòng)優(yōu)化裝置，除污染技術(shù)確保輕元素性能長(cháng)期優(yōu)良；
高性能，低噪聲，專(zhuān)利的 FET 場(chǎng)效應管 x-sight 電荷復位技術(shù)；
牛津儀器公司90%的探測器實(shí)測分辨率為125-130eV
牛津儀器公司探測器優(yōu)異的超輕元素分辨率表現

中文界面導航器：

操作簡(jiǎn)單易行，只需幾步即可完成分析； 

高度智能化，操作者無(wú)需經(jīng)驗即可操作，并得到高質(zhì)量的分析結果；
而且只需通常的1/3 工作時(shí)間 ( 從啟動(dòng)到***終報告)。
收譜過(guò)程實(shí)時(shí)自動(dòng)識別并標注元素峰位，可任選元素的K，L，M線(xiàn)系標定,采用標準樣品譜庫進(jìn)行譜峰擬合，元素標識為唯***解。

可在電子圖象和能譜譜圖上使用中文或英文標注特征 (相或顆粒) 的名稱(chēng)和編號，使實(shí)驗結果清晰明了。
多譜比較： 可將多個(gè)區或點(diǎn)的譜，沿Z軸排列，進(jìn)行比較 　
定量分析采用XPP修正方法, 結果比傳統的ZAF或PRZ方法修正誤差小2/3

元素面分布SmartMap的特點(diǎn)是：全息數據采集，即***次掃描，從B4-U92全部數據采集，多次重復調用。如果在實(shí)驗結束后發(fā)現漏掉某些元素或特征，無(wú)需重新開(kāi)啟SEM和EDS，只需打開(kāi)電腦，即可得到全部所需數據 ( 如任何點(diǎn)的定量，線(xiàn)/面掃描，特征分析等 )。
INCA Energy 預先設置四十多種專(zhuān)業(yè)的實(shí)驗報告格式任選，也可自行簡(jiǎn)單地以模塊化形式編輯或創(chuàng )建實(shí)驗報告格式，單鍵即可將實(shí)驗報告轉變成 Microsoft Word形式。