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橢偏儀

SpecEL-2000是***款操作便捷的臺式光譜橢偏儀，主要用于測量平整和半透明的樣品，例如硅晶圓片和玻璃片等薄膜。 

橢圓偏光技術(shù)是***種非接觸式、非破壞性，以光學(xué)技術(shù)測量表面薄膜特性的方法。其檢測原理是：當***束偏振光經(jīng)過(guò)物體表面或界面時(shí)，其偏振極化狀態(tài)會(huì )被改變。而橢偏儀就是通過(guò)探測樣品表面的反射光，來(lái)測量此改變（即反射光和入射光的振幅及相位的改變量），以決定表面特性薄膜的光學(xué)常數（n、k值）及膜厚。 

SpecEL-2000測試系統主要包括：寬帶光源、高性能線(xiàn)陣CCD光譜儀、導光器件、起偏器、樣品測試臺、檢偏器、光學(xué)增強元件及測量分析軟件。 

SpecEL-2000適合于探測薄膜厚度、光學(xué)常數以及材料微結構特性，通常應用于有薄膜存在的地方，其應用包括光學(xué)鍍膜和保護膜、聚合物、光刻材料、平面平板顯示、計算機讀寫(xiě)頭以及半導體集成電路制造的研究開(kāi)發(fā)。另外，在生物、醫學(xué)、化學(xué)、電化學(xué)及材料研究等方面有著(zhù)廣泛的應用。

SpecEL橢偏儀基本性能：

●基本型號：SpecEI-2000-UV/VIS/NIR & SpecEI-2000-VIS/NIR

●光譜范圍：290-1050nm (UV/VIS/NR) & 400-1000nm (VIS/NIR)

●測量范圍：1nm~10μm

●膜厚分辨率：0.1nm

●測量時(shí)間：7~13s

●測量膜層：32層

●光束直徑：300×1200μm (Smaller spots available)

●入射角度：700 (other angles available)

●樣品調整：高度±1mm；傾斜±10

●測量指標：光學(xué)常數(n&k)及膜厚

●快速響應：在線(xiàn)測量

●基底材料：硅晶片和玻璃片等

●數學(xué)模型：折射率/諧振子/柯西/塞耳邁耶爾/麥克斯韋-加尼特等數學(xué)模型

●應用場(chǎng)合：光學(xué)鍍膜/保護膜/聚合物/光刻材料/平面平板顯示/導體集成電路