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SENDURO 全自動(dòng)光譜橢偏儀,

SENDURO 全自動(dòng)光譜橢偏儀包括基于測量處方的僅在幾秒鐘內即可完成的快速數據分析。橢圓儀的設計是為了便于操作：放置樣品，自動(dòng)樣品對準，自動(dòng)測量和分析結果。在全自動(dòng)模式下使用光譜橢偏儀非常適合于質(zhì)量控制和研發(fā)中的常規應用。

自動(dòng)對準

光譜橢偏儀SENDURO® 所特有的全自動(dòng)光譜橢偏免除了用戶(hù)根據高度和傾斜度手動(dòng)地對準樣品的麻煩，這對于高精度和可重復的光譜橢偏是必需的。該的自動(dòng)對準傳感器大大減少了操作誤差，適用于透明和反射樣品，即使在彎曲的樣品上也可實(shí)現自動(dòng)掃描。

操作簡(jiǎn)單

配方模式非常適合于生產(chǎn)，工藝監控以及研發(fā)的常規應用。該光譜橢偏儀帶有隨機可的配方數據庫，可以根據您的具體需要對其進(jìn)行修改。

步進(jìn)掃描分析器

步進(jìn)掃描分析器SSA是SENTECH光譜橢偏技術(shù)的***個(gè)獨有特征。分析樣品的總時(shí)間只需幾秒鐘。

SENDURO® 可測量透明和反射基片上單層薄膜和層疊膜的折射率和厚度。SENDURO® 自動(dòng)掃描則實(shí)現了較高的樣品速度，化安裝工作量和低的維護成本。該光譜橢偏儀的自動(dòng)掃描具有預定義或用戶(hù)定義的模式、允許廣泛的統計特性和數據圖形顯示。

SENDURO® 是SENTECH自動(dòng)化，占地面積小，設計緊湊的橢偏儀的代表。測量臺包括橢偏儀光學(xué)部件、自動(dòng)傾斜和高度傳感器、電動(dòng)樣品臺和控制器電子設備，它們全部緊湊的組合。為了達到更高產(chǎn)量的要求，我們的光譜橢偏儀也提供了片盒站裝載尺寸到300 mm的大晶片。

SENDURO® 以其高樣品測量速度，易于操作和自動(dòng)對準在工業(yè)應用中表現出色。應用范圍從半導體上的介質(zhì)膜到玻璃上的多層光學(xué)涂層。

SENDURO® 優(yōu)異的光譜橢偏軟件具有配方模式和工程模式。配方模式致力于重復應用程序的簡(jiǎn)單執行。密碼控制的用戶(hù)登錄允許不同***別的用戶(hù)登錄。在交互模式下，橢偏測量通過(guò)交互式的，指導性的圖形用戶(hù)界面得到增強。此外，可以使用材料數據庫和散射模型修改已經(jīng)存在的配方或建立新的配方。