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創(chuàng )新點(diǎn)

◎的光斑可視系統（技術(shù)): Auto SE 集成了的MyAutoView光斑可視系統（技術(shù)），該系統配備在標準橢圓偏振光譜儀中,允許操作者全程觀(guān)測樣品光斑，以確保各種類(lèi)型的樣品都能在完全正確的位置，以合適的光斑尺寸進(jìn)行測量。解決了現有測量技術(shù)中的“盲測”難題。 ◎***鍵式操作，大大提高工作效率。 ◎共焦微光斑技術(shù)： 提供8種不同光斑尺寸的自動(dòng)選擇。 ◎全自動(dòng)智能診斷及故障處理：大大減輕了設備的維護負擔。

  儀器簡(jiǎn)介：

       新型的全自動(dòng)薄膜測量分析工具，工業(yè)化設計，操作簡(jiǎn)單，可在幾秒鐘內完成全自動(dòng)測量和分析，并輸出分析報告。是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。

技術(shù)參數：

?光譜范圍：450-1000 nm

?多種微光斑自動(dòng)選擇

?光斑可視技術(shù)，可觀(guān)測任何樣品表面

?CCD探測器

?自動(dòng)樣品臺尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動(dòng)調節; Z軸高度>35mm

?70度角入射

主要特點(diǎn)：

?完全自動(dòng)化設計，***鍵式操作，直接報告輸出
?液晶調制技術(shù)，測量光路中無(wú)運動(dòng)部件
?CCD探測系統，快速全譜輸出
?多個(gè)微光斑尺寸選擇，可視技術(shù)
?封閉式樣品倉