光子晶體探測器型橢偏儀
價(jià) 格:詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地:更新時(shí)間:2021-01-18 16:45
品 牌:型 號:ME-210/110
狀 態(tài):正常點(diǎn)擊量:2066
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北京飛凱曼公司提供光子晶體探測器型橢偏儀。這種光子晶體探測器型的橢偏儀是有日本Photonic Lattice公司***創(chuàng ),并應用到橢偏儀的測試中。日本Photonic Lattice公司在光子晶體的研究和制造領(lǐng)域世界,由此開(kāi)發(fā)出的光子晶體探測器型橢偏儀具有測試速度快、測量準確、免維護、價(jià)格低廉等特點(diǎn)已經(jīng)在光學(xué)薄膜、半導體薄膜、有機薄膜等領(lǐng)域有著(zhù)廣泛的應用。該橢偏儀可快速準確測量薄膜的厚度和折射率的分布。
相比傳統的光譜型橢偏儀,光子晶體探測器型橢偏儀避免了探測器的機械運動(dòng)。使得測試速度更快、測試更加準確、成本更加低廉。
ME-210型光子晶體探測器型橢偏儀特點(diǎn):
1) 可用于8英寸樣品的3D快速成像
2) 可用于厚度差異小于1nm以?xún)鹊谋∧さ目焖俸透呔瘸上?/span>
3) 超高速測量,速度可達20000點(diǎn)/分鐘
4) 超高分辨率的測量,*小面積可達50um2
5) 可進(jìn)行透明基底上的薄膜的測試
技術(shù)規格:
型號 | ME-210/110 |
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重復性精度 | 0.1nm(厚度), 0.001(折射率) |
測量速度 | 每分鐘1000個(gè)點(diǎn)以上 |
光源 | 636nm 半導體激光器 |
測量點(diǎn)尺寸 | 0.5mm2 |
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入射角 | 70度 |
樣品尺寸 | 8英寸(可選12英寸) |
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儀器尺寸和重量 | 650x650x1740mm/120kg |
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數據接口 | 千兆以太網(wǎng)(攝像機信號),RS-232C |
電源 | AC100-240V(50/60Hz) |
軟件 | SE-View |
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