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產(chǎn)品簡(jiǎn)介：  

SE橢偏儀系列薄膜分析產(chǎn)品來(lái)自美***AST公司，其可以實(shí)現薄膜厚度***測量，同時(shí)可以實(shí)現12層的薄膜厚度測試，同樣對于材料NK參數也可以實(shí)現準確測量，為人們針對薄膜進(jìn)行分析提供了極大便利。

特點(diǎn)： 
· 易于安裝
· 基于視窗結構的軟件，很容易操作
· 的光學(xué)設計，以確保能發(fā)揮出*佳的系統性能
· 能夠自動(dòng)的以0.01度的分辨率改變入射角度
· 高功率的DUV－VIS光源，能夠應用在很寬的波段內
· 基于陣列設計的探測器系統，以確?？焖贉y量
· *多可測量12層薄膜的厚度及折射率
· 能夠用于實(shí)時(shí)或在線(xiàn)的監控光譜、厚度及折射率等參數
· 系統配備大量的光學(xué)常數數據及數據庫
· 對于每個(gè)被測薄膜樣品，用戶(hù)可以利用的TFProbe3.0軟件功能選擇使用NK數據庫、也可以進(jìn)行色散或者復合模型（EMA）測量分析；
· 三種不同水平的用戶(hù)控制模式：專(zhuān)***模式、系統服務(wù)模式及初***用戶(hù)模式
· 靈活的專(zhuān)***模式可用于各種獨特的設置和光學(xué)模型測試
· 健全的***鍵按鈕(Turn－key)對于快速和日常的測量提供了很好的解決方案
· 用戶(hù)可根據自己的喜好及操作習慣來(lái)配置參數的測量
· 系統有著(zhù)全自動(dòng)的計算功能及初始化功能
· 無(wú)需外部的光學(xué)器件，系統從樣品測量信號中，直接就可以對樣品進(jìn)行精確的校準
· 可精密的調節高度及傾斜度
· 能夠應用于測量不同厚度、不同類(lèi)型的基片
· 各種方案及附件可用于諸如平面成像、測量波長(cháng)擴展、焦斑測量等各種特殊的需求
· 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶(hù)數據管理界面。

系統配置： 
· 型號：SE200AM-M300;SE500BA系列

· 探測器：PMT
· 光源：高功率的DUV-Vis光源
· 指示角度變化：根據設定的程序，自動(dòng)變化
· 平臺：ρ-θ配置的自動(dòng)成像
· 軟件：TFProbe 3.2版本的軟件
· 計算機：Inter雙核處理器、19”寬屏LCD顯示器
· 電源：110–240V AC/50-60Hz，6A
· 保修：***年的整機及零備件保修

規格： 
· 波長(cháng)范圍：250nm到850 nm
· 波長(cháng)分辨率: 0.1nm
· 光斑尺寸：1mm至5mm可變
· 入射角范圍：10到90度
· 入射角變化分辨率：5度 間隔
· 樣品尺寸：直徑為300mm
· 基板尺寸：*多可至20毫米厚
· 測量厚度范圍*：0nm?10μm
· 測量時(shí)間：約1秒/位置點(diǎn) 
· 精確度*：優(yōu)于0.25％
· 重復性誤差*：小于1 ?

選項:                  
· 用于反射的光度測量或透射測量
· 用于測量小區域的微小光斑
· 用于改變入射角度的自動(dòng)量角器
· X－Y成像平臺(X-Y模式，取代ρ-θ模式)
· 加熱/致冷平臺
· 樣品垂直安裝角度計
· 波長(cháng)可擴展到遠DUV或IR范圍
· 聯(lián)合MSP的數字成像功能，可用于對樣品的圖像進(jìn)行測量

應用:                  
· 半導體制造（PR，Oxide, Nitride..) 
· 液晶顯示（ITO，PR，Cell gap... ..） 
· 醫學(xué)，生物薄膜及材料領(lǐng)域等
· 油墨，礦物學(xué)，顏料，調色劑等
· 醫藥，中間設備
· 光學(xué)涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... .. 
· 半導體化合物
· 在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜
· 非晶體，納米材料和結晶硅
· 太陽(yáng)能電池工業(yè)

應用實(shí)例:   

客戶(hù)遍布全球主要科研大學(xué)及主要半導體廠(chǎng)商：

NIST

ISMI

NASA

JPL

Marshall Space Center

Air Force

MIT

Columbia University

UC Berkeley

Georgia Tech

University of Virginia

USTC,China

...

Bell Laboratories

HP

GE

Lockheed Martin

Corning

Applied Materials

First Solar

Dow Chemical

Samsung

Texas Instruments

National Semiconductor

...

詳情關(guān)注：北京燕京電子有限公司