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HORIBA Auto SE一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀

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品  牌:型  號:Auto SE

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全自動(dòng)化&高集成度&可視化光斑


***鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀 Auto SE――新型的全自動(dòng)薄膜測量分析工具。采用工業(yè)化設計,操作簡(jiǎn)單,可在幾秒鐘內完成全自動(dòng)測量和分析,并輸出分析報告。是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。


1
主要特點(diǎn)

1. 液晶調制技術(shù),無(wú)機械轉動(dòng)部件,重復性,信噪比高

2. 技術(shù)成像系技術(shù),所有樣品均可成像,對于透明樣品,自動(dòng)去除樣品的背反射信號,使得數據分析更簡(jiǎn)單.

3. 反射式微光斑,覆蓋全譜段,利于非均勻樣品圖案化樣品測試

4. 全自動(dòng)集成度高,安裝維護簡(jiǎn)便

5. ***鍵式操作軟件,快速簡(jiǎn)單

6. 自動(dòng)MAPPING掃描,分析樣品鍍膜均勻性


2
技術(shù)參數

1. 光譜范圍:450-1000 nm

2. 多種微光斑自動(dòng)選擇

3. 光斑可視技術(shù),可觀(guān)測任何樣品表面

4. 自動(dòng)樣品臺尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自動(dòng)調節; Z軸高度>35mm

5. 70度角入射

6. CCD探測器


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3. 常見(jiàn)的橢偏儀類(lèi)型及優(yōu)勢分析

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