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真空紫外橢偏儀

價(jià)  格：詢(xún)價(jià)

產(chǎn)  地：更新時(shí)間：2021-01-18 16:44

品  牌：型  號：UVISEL 2 VUV

狀  態(tài)：正常點(diǎn)擊量：1406

400-006-7520
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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人： 上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

電   話(huà)： 400-006-7520

傳   真： 400-006-7520

配送方式： 上海自提或三方快遞

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    專(zhuān)為VUV 測量設計，整個(gè)系統處于真空狀態(tài)，無(wú)氧氣吸收。具備高度準確性；的超快測量速度；快速樣品室抽真空能力，方便快速更換樣品；氮氣消耗量少。

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產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 50KHz 高頻PEM 相位調制技術(shù)

  • 45 秒內完成充氮氣

  • 2 分鐘內完成樣品室抽真空

  • 8 分鐘內完成光譜全譜范圍內測量

  • 兩種工作模式：氮氣清洗結合抽

  • 真空、連續氮氣清洗

  • 光譜范圍：147nm~850nm；147nm~2100nm



重點(diǎn)應用領(lǐng)域

  • 超薄膜

  • 157nm 光刻新材料

  • 有機材料、高分子材料

  • 高k 材料：HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz

  • 抗反射涂層

  • 半導體和介電材料電子躍遷

  • MgF2、CaF2、LaF3


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產(chǎn)品參數


產(chǎn)品介紹




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