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新的SENresearch 4.0設計用于光譜橢偏儀，在寬的光譜范圍從190nm（深紫外）到3,500 nm（近紅外）。每***臺SENresearch 4.0都是客戶(hù)特定的橢偏光譜解決方案。SENresearch 4.0可以配置用于全穆勒矩陣、各向異性、廣義橢偏、散射測量等。使用步進(jìn)掃描分析器原理實(shí)現測量結果。

寬光譜范圍和高光譜精度

SENresearch 4.0 光譜橢偏儀覆蓋寬的光譜范圍，從190 nm(深紫外)到3500 nm(近紅外)。傅立葉紅外光譜儀FTIR提供了高光譜分辨率用以分析厚度高達200μm的厚膜。

沒(méi)有光學(xué)器件運動(dòng)(步進(jìn)掃描分析器原理)

為了獲得測量結果，在數據采集過(guò)程中沒(méi)有光學(xué)器件運動(dòng)。步進(jìn)掃描分析器(SSA)原理是SENresearch 4.0光譜橢偏儀的***個(gè)獨特特性。

雙補償器2C全穆勒矩陣測量

通過(guò)創(chuàng )新的雙補償器2C設計擴展了步進(jìn)掃描分析器SSA原理，允許測量全穆勒矩陣。該設計是可現場(chǎng)升***和實(shí)現成本效益的附件。

SpectraRay/4綜合橢偏儀軟件

SpectraRay/4 是用于材料分析的全功能軟件包。SpectraRay/4 包括用于與引導圖形用戶(hù)界面進(jìn)行研究的交互模式和用于常規應用的配方模式。

SENresearch 4.0 是SENTECH新的光譜橢偏儀。每***臺SENresearch 4.0光譜橢偏儀都是根據客戶(hù)具體配置的光譜范圍、選項和現場(chǎng)可升***附件而制造的。

SENresearch 4.0 使用快速的傅立葉紅外光譜儀FTIR測量至2500 nm或3500 nm的近紅外光譜。它提供了寬的光譜范圍，具有的信噪比，可選擇的光譜分辨率?？蓽y量硅薄膜厚度高達200μm。傅立葉紅外光譜儀FTIR的測量速度與二極管陣列配置相比，也可選擇高達1700納米。

新的金字塔形狀的自動(dòng)角度計具有從20度到100度的角度范圍。光學(xué)編碼器確保精度和角度設置的長(cháng)期穩定性。光譜橢偏儀手臂可以獨立移動(dòng)，用于散射測量和角度分辨透射測量。

SENresearch 4.0 根據步進(jìn)掃描分析器(SSA)原理進(jìn)行操作。SSA將強度測量與機械運動(dòng)分離，從而允許分析更加粗糙的樣品。所有光學(xué)部件在數據采集期間都處于靜止狀態(tài)。此外，SENresearch 4.0 包括用于自動(dòng)掃描和同步應用的快速測量模式。

定制的SENresearch 4.0橢偏儀可以配置用于標準和高***應用。例如介電層堆疊、紋理表面、光學(xué)和結構(3D)各向異性樣品。為各種各樣的應用提供了預定義的配方。

SpectraRay/4 是SENresearch 4.0光譜橢偏儀的綜合軟件。它包括兩種操作模式：配方模式和交互模式。配方模式允許輕松執行常規應用程序。交互式模式通過(guò)交互式圖形用戶(hù)界面引導通過(guò)橢偏測量。

SpectraRay/4 提供了光譜橢偏儀測量和分析的所有工具。