在結構研究中, 大量的樣品需要在高放大倍數、更多細節的水平上進(jìn)行觀(guān)察和分析。同時(shí), 隨著(zhù)樣品種類(lèi)的不斷增多(如: 低原子序數材料, 不導電材料等), 需要掃描電子顯微鏡提供優(yōu)異的低加速電壓性能, 以獲得高質(zhì)量的真實(shí)表面圖像。Inspect F50 場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡系統就是根據這***要求而設計的。它還提供了低加速電壓的背散射電子圖像, 薄樣品的暗場(chǎng)/明場(chǎng)STEM(掃描透射)像。Inspect F50 系統操作和維護方便, 同時(shí)可安裝各種掃描電鏡的附件(如: 能譜儀系統, 波譜儀系統, EBSD等等)。Inspect F50 是***款經(jīng)典的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。
場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Inspect F50的技術(shù)參數
1、燈絲: 超高亮度Schottky場(chǎng)發(fā)射燈絲
2、分辨率:1.0 nm @ 30 kV, 3.0 nm @ 1 kV
二次電子:
1、0 nm @ 30 kV, 3.0 nm @ 1 kV
減速模式 2.3nm @ 1kV, 3.1nm @ 200V (可選項)
背散射電子:
2、5nm @ 30kV
3、加速電壓:200 V - 30 kV, 連續可調
4、探測器:E-T二次電子探測器,可選背散射探測器
5、50x50mm 4軸馬達驅動(dòng)全對中樣品臺
場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Inspect F50的主要特點(diǎn)
1、分子泵+離子泵真空系統
2、高穩定性、超高亮度場(chǎng)發(fā)射燈絲,滿(mǎn)足高分辨觀(guān)察和微觀(guān)分析的要求
3、可選FEI獨特的STEM探測器,分辨率達到0.8nm
4、穩定的大束流(200nA)確保高速、準確的能譜、波譜和EBSD分析
5、Windows XP操作系統