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MAIA3是新開(kāi)發(fā)的分析用掃描電子顯微鏡，它可以得到在15kV下1nm的超高分辨率。采用二次電子信號，在1kV下分辨率為1.4nm。此型號電鏡配備肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)约?/span>TESCAN的三透鏡電子光學(xué)系統。

相比于常規物鏡，它采用了TESCAN獨特構造的60度磁浸沒(méi)物鏡，它能顯著(zhù)地減小光學(xué)像差，在低電壓下依然有著(zhù)超高的分辨率。另外，添加的中磁透鏡可以和物鏡同時(shí)使用或者代替物鏡觀(guān)察，以提供多種顯示模式。

*重要的特性：

u  具有非凡分辨率的單極60度角物鏡；

u  無(wú)場(chǎng)模式用于磁性樣品的觀(guān)察；

u  高亮度肖特基電子槍可得到高分辨率/高束流/低噪聲的圖像；

u  鏡筒中的In-Beam二次電子探測器用于小工作距離條件下二次電子的檢測；

u  獨有的三透鏡大視野觀(guān)察設計，提供了多種工作模式和顯示模式，體現了TESCAN專(zhuān)有中間透鏡（IML）的功能；

u  實(shí)時(shí)電子束追蹤技術(shù)，可模擬和進(jìn)行束斑優(yōu)化，包括直接和連續控制電子束束斑和束流大??；

u  電子束減速模式在低電壓下獲取***的分辨率(選配)；

u  In-Beam背散射電子探測器用于小工作距離的背散射電子成像；

u  成像速度快；

u  高通量大面積自動(dòng)化，例如自動(dòng)顆粒分布和分析；

u  計算機優(yōu)化、馬達驅動(dòng)的樣品臺；

u  利于EDX、EBSD分析的理想幾何設計；

u  由于使用了強力的渦淪分子泵和機械泵，因而可以快速簡(jiǎn)單得到干凈的真空樣品室；電子槍的真空度由離子泵來(lái)維持；

u  包括電子光學(xué)設置和校準的全自動(dòng)顯微鏡設置；

u  完善的軟件用于SEM控制，圖像采集、存檔、處理和分析；多用戶(hù)多語(yǔ)言操作界面；

u  網(wǎng)絡(luò )操作和內置的遠程控制/診斷是TESCAN的標準配置；

u  獨特的3維電子束技術(shù)用于獲得實(shí)時(shí)立體圖像。