韓國SEC SNE-3000MS基本型臺式掃描電鏡
價(jià) 格:詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地:更新時(shí)間:2021-01-18 15:20
品 牌:型 號:SNE-3000MS基本型
狀 態(tài):正常點(diǎn)擊量:1667
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SNE-3000MS型臺式掃描電鏡是韓***SEC公司研制的基本型Mini-SEM,非常適合于主要用SEM在1萬(wàn)倍放大倍率下進(jìn)行表面觀(guān)察的用戶(hù)。其分辨率為15nm,放大倍數為6萬(wàn)倍;可通過(guò)U.I界面中鼠標控制簡(jiǎn)單、方便地操作3軸載臺移動(dòng);能使用多種掃描模式與測試工具獲得多種分析結果。
技術(shù)參數:
電子光學(xué)系統 | 分辨率 | 15nm(30kV, 二次電子成像) |
放大倍率 | 20x~60,000x |
加速電壓 | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) |
探測器 | 二次電子探測器(SE) |
電子槍 | 預對中鎢燈絲 |
載臺系統 | 載臺運動(dòng) | 3軸系統 (X, Y, R) X, Y-軸: 40mm / R-軸: 360° * 影像偏移 : ±150μm * Tilt-軸 : 0~45°(選配) |
樣品尺寸 | 70mm(Φ)*30mm(H) |
成像系統 | 自動(dòng)功能 | 自動(dòng)啟動(dòng),自動(dòng)聚焦,自動(dòng)消像散,自動(dòng)調節對比度與亮度 |
圖像格式 | BMP, JPEG, PNG, TIFF |
真空系統 | 真空模式 | 高真空 |
真空泵 | 旋轉式機械泵/渦輪式分子泵(全自動(dòng)) |
尺寸與重量 | 主機 | 390(W)x380(D)x560(H)mm, 83kg |
控制單元 | 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg |
旋轉泵 | 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg
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