TESCAN超高速聚焦離子束系統FERA3
世界***個(gè)完全集成式Xe等離子源聚焦離子束掃描電子顯微鏡----FERA3,提供了超高離子束束流(束流為2μA),其濺射速度比Ga離子源高50多倍。對于目前浪費時(shí)間或不可能進(jìn)行的需要刻蝕的材料,FERA3型儀器是***個(gè)不錯的選擇。
新***代的聚焦離子束掃描電子顯微鏡為用戶(hù)提供了*新的技術(shù)優(yōu)勢,例如:改進(jìn)的高性能電子設備使圖像采集得速度更快,帶有靜態(tài)和動(dòng)態(tài)圖像扭曲補償技術(shù)的超高速掃描系統,內置的編程軟件等。
FERA3的設計適應各種各樣的SEM應用與當今研究和產(chǎn)業(yè)的需求,其高分辨率、高電流和強大的軟件使TESCAN FIB-SEM成為***的分析工具。
現代電子光路
-
獨特的三透鏡大視野觀(guān)察(Wide Field Optics™)設計提供了許多工作與顯示模式,體現了TESCAN特有可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設計
-
結合了完善的電子光學(xué)設計軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™),可模擬和優(yōu)化電子束
-
全自動(dòng)的電子光路設置與合軸
-
成像速度快
-
使用3維電子束技術(shù)可獲取實(shí)時(shí)立體圖像
-
三維導航
高性能離子光路
維修簡(jiǎn)單
現在保持電鏡處在***的狀態(tài)很簡(jiǎn)單,只需要很短的停機時(shí)間。每個(gè)細節設計得很仔細,使得儀器的效率化,操作*簡(jiǎn)化。
自動(dòng)操作
電鏡除了可以自動(dòng)化設置外,還可進(jìn)行聚焦、調節對比度/亮度等自動(dòng)操作。除此之外,電鏡還有樣品臺自動(dòng)導航與自動(dòng)分析 程序,能明顯減少操作員的操作時(shí)間。通過(guò)內置腳本語(yǔ)言(Python)可進(jìn)入軟件的大多數功能,包括顯微鏡控制、樣品臺控制、圖像采集、處理與分析等。通過(guò)腳本語(yǔ)言用戶(hù)還可以自定義自動(dòng)操作程序。
用戶(hù)界面友好的軟件與軟件工具
-
用戶(hù)界面友好的操作系統基于Windows™平臺,多用戶(hù)和多語(yǔ)言操作界面
-
同時(shí)的FIB/SEM成像,易于操作
-
實(shí)時(shí)圖像支持多窗口模式,可自定義實(shí)時(shí)圖像參數
-
圖像處理,報告生成,在線(xiàn)與離線(xiàn)圖像處理
-
項目管理軟件
-
內置的自動(dòng)診斷(自檢)
-
TCP/IP遠程控制,網(wǎng)絡(luò )操作與遠程進(jìn)入/診斷
-
免費升***軟件
TESCAN FERA3氙等離子超高速雙束FIB系統(XM)
分析潛力
-
高亮度肖特基發(fā)射可獲得高分辨率,高電流和低噪聲的圖像
-
選配的In-Beam二次電子探頭可獲取超高分辨率圖像
-
三透鏡大視野觀(guān)察(Wide Field Optics™)設計提供了多種工作模式和顯示模式,體現了TESCAN特有可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設計
-
結合了完善的電子光學(xué)設計軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™)可模擬和進(jìn)行束斑優(yōu)化
-
成像速度快
-
低電壓下的電子束減速模式(Beam Deceleration Technology – BDT)可獲取高分辨率圖像(選配)
-
In-Beam背散射電子探頭,用于在小工作距離下得BSE圖像(選配),甚至適合鐵磁性樣品
-
全計算機化優(yōu)中心電動(dòng)載臺設計優(yōu)化了樣品操控
-
完美的幾何設計更適合安裝能譜儀(EDX)、波譜儀(WDX)、背散射電子衍射儀(EBSD)
-
由于使用了強力的渦淪分子泵和干式前置真空泵,因而可以很快達到電鏡的工作真空。電子槍的真空由離子泵維持。
-
自動(dòng)的電子光路設置和合軸
-
網(wǎng)絡(luò )操作和內置的遠程控制/診斷軟件
-
3維電子束技術(shù)提供實(shí)時(shí)立體圖像
-
低真空模式下樣品室真空可達到500Pa用于觀(guān)測不導電樣品
-
獨特的離子差異泵(2個(gè)離子泵)使得離子散射效應超低
-
聚焦離子束鏡筒內有馬達驅動(dòng)高重復性光闌轉換器
-
聚焦離子束的標配包括了電子束遮沒(méi)裝置和法拉第筒
-
高束流下超高的銑削速度和卓越的性能
-
FIB切割、信號采集、3維重構(斷層攝影術(shù)),3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化
-
成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件,圖像采集、存檔、處理和分析功能
FERA3配置
FERA3 XMH
是***款完全由計算機控制的Xe等離子聚焦離子束(i-FIB)場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,可選配氣體注入系統(GIS),在真空模式下工作。
FERA3 XMU
是***款完全由計算機控制的Xe等離子聚焦離子束(i-FIB)場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,可選配氣體注入系統(GIS),可在高真空和低真空模式下工作。
軟件(標配):
-
測量
-
圖象處理
-
3維掃描
-
硬度測量
-
多圖像校準
-
對象區域
-
自動(dòng)關(guān)機時(shí)間
-
公差
-
編程軟件
-
定位
-
投影面積
-
EasySEMTM
配件:
等,各種配件可供選擇