TESCAN VEGA3鎢燈絲掃描電鏡
VEGA系列的設計適合各種SEM應用及當今研究和工業(yè)的需求。經(jīng)過(guò)10多年的不斷發(fā)展，TESCAN已經(jīng)成功開(kāi)發(fā)、研制和制造了VEGA的第三代產(chǎn)品。新***代的VEGA給用戶(hù)帶了*新的技術(shù)優(yōu)勢，包括改進(jìn)的高性能電子設備使成像速度更快，包含了靜態(tài)和動(dòng)態(tài)圖像扭曲補償技術(shù)的超快掃描系統，內置的編程軟件等，使VEGA系列產(chǎn)品保持著(zhù)非常高的性?xún)r(jià)比。
LaB6發(fā)射源
TESCAN能提供介于肖特基與鎢燈絲性能之間的LaB6（六硼化鑭）作為電子發(fā)射源。LaB6的優(yōu)勢包括：穩定的電子發(fā)射源（與場(chǎng)發(fā)射電子源相比），在陰極較低溫度下可獲取比較高的束流（與鎢燈絲電子源相比）。這就意味著(zhù)在整個(gè)范圍的加速電壓和很長(cháng)的使用壽命中，LaB6可以保持很高的亮度和分辨率?；谄浞浅８叩陌l(fā)射電流，LaB6是需要大電子束流應用領(lǐng)域的正確選擇。
現代電子光路
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獨特的四透鏡大視野光路設計提供各種各樣的工作與顯示模式
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以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同"光闌轉換器"
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透鏡與線(xiàn)圈的優(yōu)質(zhì)材料使成象率達到20ns/像素，并減少了動(dòng)態(tài)扭曲效應
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結合了完善的電子光學(xué)設計軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優(yōu)化電子束
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鏡筒設計提供了全自動(dòng)電子光路設置，鏡筒不含機械對中結構
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3維電子束技術(shù)提供了實(shí)時(shí)立體圖像
檢修方便
只要很短的停機檢查后就能保持電鏡長(cháng)時(shí)間處于*佳狀態(tài)。每個(gè)細節設計得很仔細，使得儀器的效率化，操作*簡(jiǎn)化。
自動(dòng)操作
通過(guò)***次點(diǎn)擊就可以進(jìn)行自動(dòng)燈絲加熱和電子槍對中。眾多的自動(dòng)程序減少了用戶(hù)的操作時(shí)間，并提供了操作的自動(dòng)導航與自動(dòng)化分析。通過(guò)內置腳本語(yǔ)言（Python）用戶(hù)可以進(jìn)入軟件大多數功能，包括電鏡控制、樣品臺導航、圖像采集、處理與分析。通過(guò)腳本語(yǔ)言用戶(hù)也可以自定義軟件的自動(dòng)操作。
用戶(hù)界面友好的軟件
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用戶(hù)界面有各種語(yǔ)言版本
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多用戶(hù)界面（包括了EasySEMTM模式）不同賬戶(hù)的權利使常規分析過(guò)程更快
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圖像文件管理與報告生成
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內置的自動(dòng)系統檢查
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通過(guò)局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)可實(shí)現電鏡遠程診斷
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模塊化軟件體系結構
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標準的軟件模塊包括了：測量工具、圖像處理、對象區域等
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選配軟件包括了：顆粒度分析、三維表面重構等
TESCAN VEGA3超大樣品室鎢燈絲掃描電鏡（GM）
分析潛力：
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GM樣品室配備有5軸馬達驅動(dòng)樣品臺
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多于20個(gè)接口，優(yōu)化的幾何設計更適合安裝能譜儀（EDS）、波譜儀（WDX）、電子背散射衍射（EBSD）
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***流YAG閃爍器式探頭
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可選各種探頭和配件
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渦輪分子泵和機械泵同時(shí)工作，幾分鐘即可達到儀器操作需要的真空狀態(tài)
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在可變真空模式下可觀(guān)測不導電的樣品（XMU型號）
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可選樣品室減振方式
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3維Metrology軟件提供了三維重構與3維測量功能
VEGA3配置：
GM型號適合觀(guān)測大樣品。
VEGA3 GMH
超大樣品室，高真空模式，適用于觀(guān)測大型導電材料。
VEGA3 GMU
可變真空式掃描電鏡，體現了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn)。在低真空模式下可以觀(guān)測不導電的樣品，不需要噴金。
軟件（標配）：
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測量
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圖象處理
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3維掃描
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硬度測量
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多圖像校準
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對象區域
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自動(dòng)關(guān)機時(shí)間
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公差
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編程軟件
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定位
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投影面積
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EasySEMTM
配件：
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二次電子探頭（SE），ET型二次電子探頭（YAG 閃爍體）
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可移動(dòng)式背散射電子探頭（RBSE）*，可移動(dòng)環(huán)行閃爍體類(lèi)（YAG）具有高靈敏度和原子序數分辨率（0.1Z）
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低真空二次電子探頭
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探針電流測量
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壓差式防碰撞報警裝置
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可觀(guān)察樣品室內部的紅外線(xiàn)攝像頭
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冷臺等，各種配件可供選擇
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
