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儀器簡(jiǎn)介：

Quanta x50系列掃描電子顯微鏡是FEI公司*新***代的、真正的多用途掃描電鏡，是***的Quanta產(chǎn)品***族的第三代產(chǎn)品。 

主要特點(diǎn)：

1.FEI ESEM(環(huán)境掃描電鏡)技術(shù), 可在高真空、低真空和環(huán)境真空條件下對各種樣品進(jìn)行觀(guān)察和分析。
2.所有真空條件下的二次電子、背散射電子觀(guān)察和微觀(guān)分析。
3.的系統結構平臺，全數字化系統。
4.可同時(shí)安裝能譜儀、波譜儀和EBSP系統。
5.可安裝低溫冷臺、加熱臺、拉伸臺等進(jìn)行樣品的原位、動(dòng)態(tài)觀(guān)察和分析。

技術(shù)參數：

1.分辨率:
　二次電子:
　　高真空模式 3.0nm @ 30kV, 8nm @ 3kV
　　高真空減速模式 7nm @ 3kV (可選項)
　　低真空模式 3.0nm @ 30kV, 10nm @ 3kV
　　環(huán)境真空模式 3.0nm @ 30kV
　    背散射電子 4.0nm @ 30kV
2.樣品室壓力達2600Pa
3.加速電壓200V ～ 30kV，連續調節
4.樣品臺移動(dòng)范圍
　Quanta 250: X=Y=50mm
　Quanta 450: X=Y=100mm
　Quanta 650: X=Y=150mm