Apreo
功能*為豐富的高性能 SEM
Apreo 復合透鏡結合了靜電和磁浸沒(méi)技術(shù),可產(chǎn)生前所未有的高分辨率和材料對比度。
Apreo 是研究納米顆粒、催化劑、粉末和納米器件的理想平臺,而不會(huì )降低磁性樣品性能。傳統的高分辨率 SEM 透鏡技術(shù)分為兩類(lèi):磁浸沒(méi)或靜電。FEI ***次將兩種技術(shù)結合到***個(gè)儀器中。這樣做所產(chǎn)生的成效遠遠超過(guò)任***種鏡筒的個(gè)體性能。兩種技術(shù)均使電子束形成細小探針,以提高低電壓下的分辨率,并使信號電子進(jìn)入鏡筒。通過(guò)將磁透鏡和靜電透鏡組合成***個(gè)復合透鏡,不但提高了分辨率,還增加了特有的信號過(guò)濾選項。靜電-磁復合末***透鏡在 1 kV 電壓下的分辨率為 1.0 nm(無(wú)電子束減速或單色器)。
Apreo 擁有透鏡內背散射探測器 T1,其位置緊靠樣品以便盡可能多地收集信號,從而確保在很短的時(shí)間內采集數據。與其他背散射探測器不同,這種快速的探測器始終可保證良好的材料對比度,在導航時(shí)、傾斜時(shí)或工作距離很短時(shí)也不例外。在敏感樣品上,探測器的價(jià)值凸現出來(lái),即使電流低至幾 pA,它也能提供清晰的背散射圖像。復合末***透鏡通過(guò)能量過(guò)濾實(shí)現更準確的材料對比度以及絕緣樣品的無(wú)電荷成像,進(jìn)***步延伸了 T1 BSE 探測器的潛在價(jià)值。它還提供了流行選項來(lái)補充其探測能力,例如定向背散射探測器(DBS)、STEM 3+ 和低真空氣體分析探測器 (GAD)。所有這些探測器都擁有的軟件控制分割功能,以便根據需求選擇*有價(jià)值的樣品信息。
每個(gè) Apreo 都按標準配備各種用以處理絕緣樣品的策略,包括:高真空技術(shù),例如 SmartSCAN?、漂移補償幀積分(DCFI) 和電荷過(guò)濾。對于*有挑戰性的應用,Apreo 可提供電荷緩解策略。其中包括可選的低真空(為 500 Pa)策略,通過(guò)經(jīng)現場(chǎng)驗證的穿鏡式差分抽氣機構和專(zhuān)用低真空探測器,不但可以緩解任何樣品上的電荷,還能提供絕佳的分辨率和較大的分析電流。
隨著(zhù)分析技術(shù)的使用越來(lái)越常規化,Apreo 倉室經(jīng)過(guò)全新設計,以便更好地支持不同的配件和實(shí)驗。倉室*多容納三個(gè) EDS/WDS 端口,可實(shí)現快速敏感的 X 射線(xiàn)測量、共面EDS/EBSD/TKD 排列并與(冷凍)CL、拉曼、EBIC 和其他技術(shù)兼容。
所有這些功能都能通過(guò)簡(jiǎn)單的樣品處理和熟悉的 xT UI 獲得,節省了新用戶(hù)和專(zhuān)******用戶(hù)的時(shí)間??勺远x的用戶(hù)界面提供了諸多用戶(hù)指導、自動(dòng)化和遠程操作選項。