日立超高分辨率掃描電子顯微鏡 SU8200系列
價(jià) 格：詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地：更新時(shí)間：2021-01-18 15:04
品 牌：型 號：SU8200系列
狀 態(tài)：正常點(diǎn)擊量：2719
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超高分辨率掃描電子顯微鏡 SU8200系列
創(chuàng )新型冷場(chǎng)發(fā)射電子槍具有超高分辨率和電子束穩定性
這種新型的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍采用日立的“柔性閃爍”“Mild flashing”技術(shù)和全新改進(jìn)的真空系統，在發(fā)射極尖端極大限度減少氣體分子附著(zhù)。 發(fā)射極始終運行于“潔凈”的狀態(tài)，發(fā)射電流和電子束穩定性顯著(zhù)提升。 即使在低加速電壓下，也可以得到高信噪比的SEM信號并進(jìn)行高分辨觀(guān)察。 這些增強性能開(kāi)辟了低電壓下元素微量分析的全新里程。
SU8200系統具備全新設計的頂端過(guò)濾器，可增強電子檢測特性。 通過(guò)選擇性地過(guò)濾非彈性散射電子和直接檢測特定能量的背散射電子，可實(shí)現良好的對比度。 這種選擇性的過(guò)濾，在提高低加速電壓下成分對比度方面尤為強大。樣品臺和樣品室的防震措施以及光學(xué)系統的優(yōu)化有助于提高分辨率：15 kV時(shí)0.8 nm，1 kV時(shí) 1.1 nm。
| | SU8220 | SU8230 | SU8240 |
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| 二次電子分辨率＊1 | 0.8 nm (Vacc 15 kV, WD=4 mm, 放大倍數 270 k×)
1.1 nm (著(zhù)陸電壓 1 kV, WD=1.5 mm, 放大倍數 200 k×)＊2 |
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| 著(zhù)陸電壓 | 0.01～30kV |
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| 放大倍數 | 20-1,000,000×＊3 |
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| 樣品臺控制 | 5軸馬達臺 | 5軸馬達臺 | 5軸馬達臺
Regulus?樣品臺＊4 |
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| 行程范圍 | X | 0～50mm | 0～110mm | 0～110mm |
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| Y | 0～50mm | 0～110mm | 0～80mm |
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| R | 360° |
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| Z | 1.5～30mm | 1.5～40mm | 1.5～40mm |
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| T | -5～70° |
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| 樣品臺回位精度 | - | - | ±0.5μm或以下 |
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滬公網(wǎng)安備31011502016460號
