供應日立SU9000新型超高分辨冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡
價(jià) 格:詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地:更新時(shí)間:2021-01-18 15:01
品 牌:型 號:SU9000
狀 態(tài):正常點(diǎn)擊量:1411
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日立2011年新推出了SU9000超高分辨冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡,達到掃描電鏡世界二次電子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采取了全新改進(jìn)的真空系統和電子光學(xué)系統,不僅分辨率性能明顯提升,而且作為***款冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡甚至不需要傳統意義上的Flashing操作,可以高效率的快速獲取樣品超高分辨掃描電鏡圖像。
特點(diǎn):
1. 新型電子光學(xué)系統設計達到掃描電鏡世界分辨率:二次電子0.4nm(30KV),STEM 0.34nm(30KV)。
2. Hitachi設計的E×B系統,可以自由控制SE和BSE檢測信號。
3. 全新真空技術(shù)設計使得SU9000冷場(chǎng)發(fā)射電子束具有超穩定和高亮度特點(diǎn)。
4. 全新物鏡設計顯著(zhù)提高低加速電壓條件下的圖像分辨率。
5. STEM的明場(chǎng)像能夠調整信號檢測角度,明場(chǎng)像、暗場(chǎng)像和二次電子圖像可以同時(shí)顯示并拍攝照片。
6. 與FIB兼容的側插樣品桿提高更換樣品效率和高倍率圖像觀(guān)察效率。
項目 | 技術(shù)指標 |
二次電子分辨率 | 0.4nm (加速電壓30kV,放大倍率80萬(wàn)倍) |
1.2nm (加速電壓1kV,放大倍率25萬(wàn)倍) |
STEM分辨率 | 0.34nm(加速電壓30kV,晶格象) |
觀(guān)測倍率 | 底片輸出 | 顯示器輸出 |
LM模式 | 80~10,000x | 220~25,000x |
HM模式 | 800~3,000,000x | 2,200~8,000,000x |
樣品臺 | 側插式樣品桿 |
樣品移動(dòng)行程 | X | ±4.0mm |
Y | ±2.0mm |
Z | ±0.3mm |
T | ±40度 |
標準樣品臺 | 平面樣品臺:5.0mm×9.5mm×3.5mmH |
截面樣品臺:2.0mm×6.0mm×5.0mmH |
專(zhuān)用樣品臺 | 截面樣品臺:2.0mm×12.0mm×6.0mmH |
雙傾截面樣品臺:0.8mm×8.5mm×3.5mmH |
信號檢測器 | 二次電子探測器 |
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