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日本JEOL 雙束加工觀(guān)察系統 JIB-4700F

隨著(zhù)材料構造的微細化和制造過(guò)程的復雜化，形貌觀(guān)察、元素分析和晶體分析等的評估技術(shù)也對分辨率和精度有了更高的要求。為了滿(mǎn)足這些需求，JEOL推出新***代雙束加工觀(guān)察系統JIB-4700F。 該設備的SEM鏡筒中采用了超***混合圓錐形物鏡、GB模式和in-lens檢測器系統，在1kV低加速電壓下,實(shí)現了1.6nm的保證分辨率,與能獲得300nA探針電流的浸沒(méi)式肖特基電子槍組合，可以進(jìn)行高分辨率觀(guān)察和高速分析。

產(chǎn)品規格：

。SEM

加速電壓：0.1 ～ 30.0 kV

分辨率 (*佳WD時(shí))：1.2 nm (15 kV, GB模式)

                              1.6 nm (1 kV, GB模式)

倍率：x20 ～ 1,000,000 （采用LDF模式）

探針電流：1 pA ～ 300 nA

樣品臺：計算機控制6軸測角樣品臺 ：

              X: 50 mm, Y: 50mm, Z: 1.5 ～ 40 mm,  R: 360°, T: -5 ～ 70°, FZ: -3.0 ～ +3.0 mm

。FIB

加速電壓：1 ～ 30 kV

圖像分辨率：4.0 nm (30kV)

倍率：x50 ～ 1,000,000 (x50 ～ 90在加速電壓為15kV以下時(shí)可以)

探針電流：1 pA ～ 90 nA, 13 檔

加工形狀：矩形、線(xiàn)、點(diǎn)、圓、位圖

產(chǎn)品特點(diǎn)：

· 雙束加工觀(guān)察系統 JIB-4700F能進(jìn)行高分辨觀(guān)察、高速分析、高速加工的FIB/SEM 裝置。

· 隨著(zhù)材料構造的微細化和制造過(guò)程的復雜化，形貌觀(guān)察、元素分析和晶體分析等的評估技術(shù)也對分辨率和精度有了更高的要求。為了滿(mǎn)足這些需求，JEOL推出新***代雙束加工觀(guān)察系統JIB-4700F。 該設備的SEM鏡筒中采用了超***混合圓錐形物鏡、GB模式和in-lens檢測器系統，在1kV低加速電壓下,實(shí)現了1.6nm的保證分辨率,與能獲得300nA探針電流的浸沒(méi)式肖特基電子槍組合，可以進(jìn)行高分辨率觀(guān)察和高速分析。FIB鏡筒利用探針電流為90nA的高電流密度的Ga離子束，對樣品進(jìn)行高速加工。 利用FIB高速截面加工后的高分辨SEM觀(guān)察和使用EDS(能譜儀)及EBSD(晶體取向分析系統)等各種分析裝置，可以進(jìn)行高速分析。此外還標配了三維分析功能，能以固定的間隔自動(dòng)進(jìn)行截面加工并同時(shí)獲取截面的SEM圖像。

· 高分辨率SEM觀(guān)察

· 通過(guò)采用電磁場(chǎng)疊加的圓錐形物鏡、GB模式和in-lens檢測器，在1kV低加速電壓下實(shí)現了1.6nm的保證分辨率。

· 高速分析

· 浸沒(méi)式肖特基電子槍與*佳光闌角控制鏡組合，大探針電流分析時(shí)也能保持高分辨率。

· 高速加工

· FIB鏡筒利用高電流密度的Ga離子束,對樣品進(jìn)行高速加工。

· 加強了檢測系統

· 利用新開(kāi)發(fā)的同步檢測系統（包括in-lens檢測器），*多能實(shí)時(shí)觀(guān)察4個(gè)檢測器的圖像。

· 擴展性

· 可支持EDS、EBSD、冷凍傳輸系統、冷凍樣品臺、空氣隔離傳輸系統（Air-isolation transfer vessel）等豐富的選配附件。

· 三維觀(guān)察、三維分析

· 高分辨率SEM和各種分析單元（選配項）組合，能對圖像和分析數據進(jìn)行三維觀(guān)察。

· 樣品臺聯(lián)動(dòng)功能

· 利用樣品提取系統（Sample Pick-up System，選配項）和樣品臺聯(lián)動(dòng)功能，能簡(jiǎn)單地提取TEM樣品。

· 圖像疊加（picture overlay ）系統

· 通過(guò)和附帶光學(xué)顯微鏡的樣品提取系統組合，將光鏡圖像疊加在FIB圖像上，能容易地定出FIB的加工位置。