FMA6510ST_FMA6518ST_FMA6520ST_FMA6523ST_FMA6524ST質(zhì)量流量控制器OMEGA
流量警報
高、低氣體流量報警限值使用數字接口編程。報警狀態(tài)通過(guò)數字接口報告,或者可以激活觸點(diǎn)閉合輸出。
可編程流程
Omega軟件支持可編程流模式,允許執行最多10個(gè)步驟的自定義編程。各種流量配置包括斜坡、線(xiàn)性化增加和減少模式。
自動(dòng)調諧
自動(dòng)調諧功能允許FMA6500在實(shí)際工藝條件下自動(dòng)優(yōu)化氣體的控制響應。在自動(dòng)調整過(guò)程中,儀器調整PID增益以獲得最佳階躍響應,并確定關(guān)鍵控制閥特性(僅適用于最大流量小于80 l/min的裝置)。
觸點(diǎn)閉合
提供兩組干觸點(diǎn)繼電器輸出,以啟動(dòng)用戶(hù)提供的設備。這些可通過(guò)數字接口進(jìn)行編程,以便在發(fā)生指定事件時(shí)(例如,當超過(guò)低或高流量報警限值或當累加器達到指定值時(shí)),繼電器可以進(jìn)行切換。
閥超控
通過(guò)模擬或數字接口強制控制閥完全打開(kāi)(凈化)或完全關(guān)閉。
自我診斷
每當首次通電時(shí),FMA6500都會(huì )進(jìn)行一系列自診斷測試,以確保其處于最佳工作狀態(tài)。
工程單位
流量設定值、測量的氣體流量和相關(guān)的累加器數據