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FMA-LP2618A-I_FMA-LP2619A-I_FMA-LP2620A-I_FMA-LP2605A-I質(zhì)量流量控制器OMEGA

130+氣體校準，包括純氣體和混合氣體

同時(shí)顯示壓力、溫度和質(zhì)量流量

按鍵界面操作簡(jiǎn)單

NIST可追溯性標準

0.5 SCCM~500 SLM滿(mǎn)量程范圍

典型響應時(shí)間為50~100 ms

調節比為200：1

位置不敏感

±0.8%讀數精度

RS232標準

自定義實(shí)時(shí)氣體混合編程

***多可存儲20種用戶(hù)定義的氣體混合物

FMA-LP2618A-I_FMA-LP2619A-I_FMA-LP2620A-I_FMA-LP2605A-I質(zhì)量流量控制器OMEGA

精度：±(0.8%讀數 + 0.2% FS)

重復性：±0.2% FS

調節比：200:1

控制響應時(shí)間：100 ms

輸入控制信號：0~5 Vdc, RS232

輸出信號：0~5 Vdc, RS232

可選輸入/輸出：4~20 mA, 0~10 Vdc

工作溫度：-10~50°C（14~122°F）

零點(diǎn)漂移：0.02%/ATM FS/°C

量程漂移：0.02%/ATM FS/°C

濕度范圍：0~100% RH, 無(wú)冷凝

附加流速：2.4% FS

接濕材料：標配：303和302 SS，FKM，硅樹(shù)脂TRV（橡膠），玻璃增強尼龍，鋁，黃銅，410 SS，硅樹(shù)脂，玻璃；>250 SLM：416 SS和鎳替代黃銅

-LSS（選項）：316LSS，303SS，430FRSS，全氟彈性體標準，FKM，EPDM，丁納橡膠，氯丁橡膠 最大壓力：50 psig

在體積模式下使用：近大氣壓，建議最大值為15 psig。體積流量計和控制器未針對質(zhì)量流速高于流量計額定流量范圍的情況進(jìn)行精度認證。它們僅適用于接近大氣壓的條件。 最大工作壓力建議為15 psig

電源電流：20 SLM及以下為0.250 A；50 SLM及以上（典型值）為0.75 A

電源電壓：2 SLM及以下設備為15-30 Vdc；5 SLM及以上設備為24-30 Vdc

電氣連接：8針圓形Mini-DIN"

FMA-LP2618A-I_FMA-LP2619A-I_FMA-LP2620A-I_FMA-LP2605A-I質(zhì)量流量控制器OMEGA

***多可存儲20種用戶(hù)定義的氣體混合物

FMA-LP2600A系列質(zhì)量流量控制器 在層流場(chǎng)中使用 差壓原理來(lái)檢測并控制質(zhì)量流量。 流量計中的層流元件(LFE)迫使 氣體進(jìn)入層流狀態(tài)（經(jīng)過(guò)整流處理）。按照泊肅葉方程， 在這***區域體積流量 與壓降呈線(xiàn)性 關(guān)系。使用差壓傳感器 測量LFE固定距離的 壓降情況。同時(shí)結合氣體的粘度 準確判定體積流量。 引入單獨的絕對溫度和壓力傳感器， 并根據***系列標準條件 修正氣體流量。這種標準化 流量通常稱(chēng)為質(zhì)量流量， 使用標準立方厘米/分鐘(SCCM) 或標準升/分鐘(SLM)等 單位表示。

控制器使用真正的比例閥聯(lián)接到 流體，以便使用積分式 PID回路控制器來(lái)控制流量。標準設備包括 0 ~ 5V輸出（可選4 ~ 20 mA）和RS232 通信?？蓮那岸随I盤(pán)或 通過(guò)RS232通信調整氣體 選擇功能和設定值。體積流量、質(zhì)量 流量、絕對壓力以及溫度均可 通過(guò)RS232連接查看或記錄。 在距離為46m（150’）的同***串口連接上，同時(shí)***多可與26臺設備進(jìn)行多點(diǎn)通信。

OMEGA FMA系列質(zhì)量流量計