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真空：極限真空6*10 ^-5 帕

        工作真空6*10 ^-4 帕

        恢復工作真空時(shí)間：連接手套箱≤10分鐘

        不連接手套箱，充干燥氮氣≤30分鐘

本套設備配有8個(gè)有機源及2個(gè)金屬源

金屬蒸發(fā)源和有機蒸發(fā)源可按客戶(hù)要求配置

膜厚探頭及膜厚儀有***產(chǎn)或者進(jìn)口可選

金屬蒸發(fā)源配有1000w電源

有機蒸發(fā)源配有可控溫電源，控溫精度±1℃

技術(shù)指標：

1. 真空室的極限真空度達5*10^-5pa，漏率為關(guān)機12小時(shí)≤5pa

2. 真空腔內配有集約樣品臺***套，配有大擋板和16套小擋板，手動(dòng)

控制，開(kāi)關(guān)方便快捷，每個(gè)小擋板擋兩塊30*30mm樣片

3. 蒸發(fā)源共14套，其中10套有機蒸發(fā)源，4套金屬蒸發(fā)源?？販?!--!－－[endif]－－-->

精度±1℃，可以實(shí)現溫度或電流補償實(shí)現蒸鍍速率穩定的功能

4. 金屬蒸發(fā)源配4臺***帶***1000W可控硅調壓電源，通過(guò)銅電極

連接，兩端可夾鎢絞絲或者鉭舟，鎢絞絲可以蒸鍍絲狀或者大顆粒

材料，鉭舟可以蒸鍍粉末狀材料，蒸發(fā)源采用陶瓷全密封，避免交

叉污染

5. 有機蒸發(fā)源配10臺***帶***溫控電源，有機源溫度為室溫-500度，

可以根據材料及用戶(hù)需求自行調節

6. 樣品臺具有旋轉、升降功能，可在線(xiàn)更換掩膜板***次，可同時(shí)裝

載30mm*30mm樣品16塊。本產(chǎn)品每?jì)蓚€(gè)樣品都配有小擋板，

并且通過(guò)PLC控制步進(jìn)電機對每個(gè)小擋板做16個(gè)定位，使機械手

推拉小擋板，樣品與蒸發(fā)源之間的間距為200-300mm