美國 Cascade M150探針臺
價(jià) 格：詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地：更新時(shí)間：2021-05-10 13:53
品 牌：其他型 號：
狀 態(tài)：正常點(diǎn)擊量：2449
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上海自提或三方快遞
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主要特點(diǎn)
1. 結構簡(jiǎn)單、多功能；
2. 平臺配置可滿(mǎn)足DC、RF和亞微米測量；
3. 獨特的模塊化設計可根據客戶(hù)的需要配置和升***；
4. 量程大、可配探針配件；
應用
優(yōu)越的應用靈活性使得M150能滿(mǎn)足DC和RF測量、器件和晶圓表征測試（DWC）、失效分析（FA）、亞微米探測、MEMS和光學(xué)工程測量；M150也能用作***個(gè)靈活的探頭卡，實(shí)現wafer***的可靠性應用（WLR），能同時(shí)配備多達20個(gè)探針座。
產(chǎn)品參數
標準平臺規格參數：
基座 | 基本尺寸 | 含升高板的尺寸 | 面積 | Z軸可移動(dòng)范圍 |
標準平臺 | 675mm x675mm | 825mm x675mm | 1960cm2 | 5.5mm |
多功能平臺 | 825mm x675mm | 847mm x758mm | 2700cm2 |
|
X-Y-θ平臺 | XY范圍 | *小步長(cháng) | θ范圍 | 晶圓范圍 |
真空運行平臺 | 155mm x155mm | 3μm | +/- 60° | 70mm |
標準平臺 | 155mm x155mm | 2μm | +45°（CCW） , - 90°（CW） | 250mm |
快速運行平臺 | 155mm x155mm | 1μm | +45°（CCW） , - 90°（CW） | 275mm |
DUT支架 | 卡盤(pán) | 基底 | 平整度 | 三軸接頭 | 絕緣層 | 附加卡盤(pán) |
150mm卡盤(pán) | 150mm真空卡盤(pán) | 晶圓，陶瓷 | ＜10μm | Yes | ＞100GΩ | 2個(gè)獨立的卡盤(pán)，且還有一個(gè)附加卡盤(pán) |
PCB | 150mm寬支架 | PCB，移動(dòng)裝置 | NA | NA | NA | NA |
顯微鏡支架 | 移動(dòng)范圍（XY） | Z方向 | *小步長(cháng) |
臂式支架 | ＞150mm x 150mm | NA | NA |
LAHS顯微鏡支架 | 150mm x 150mm | 可選，為100mm | 2μm |
產(chǎn)品介紹
Cascade M150探針臺
用于實(shí)現靈活性和不打任何折扣之精度的新標準
Cascade Microtech 的 M150測量平臺是***款結構簡(jiǎn)單、多功能、及高性?xún)r(jià)比的150mm基準的探針臺，解決了***系列的測量難題。該探針臺采用了***種模塊化設計，提供了眾多的配置可能性，旨在滿(mǎn)足諸如單切晶片至 150mm 晶圓、模塊、印刷電路板組件和微流體芯片等多種器件的精密電測量的需要。M150 可提供三種預配置的探針臺，均針對您的應用及預算而優(yōu)化。您可以通過(guò)確定*適合自己當前需要的 M150 模塊來(lái)設計特有的探針臺，或對自己現用的 M150 進(jìn)行升***以滿(mǎn)足未來(lái)的測量需求。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
