CGO-4高低溫真空探針臺
價(jià) 格：詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地：更新時(shí)間：2021-05-12 14:37
品 牌：其他型 號：CGO-4
狀 態(tài)：正常點(diǎn)擊量：2809
400-006-7520
聯(lián)系我時(shí)，請說(shuō)明是在上海非利加實(shí)業(yè)有限公司上看到的，謝謝！
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CINDBEST CGO-4 | 2"~6" 高低溫真空探針臺測試系統
特點(diǎn)/應用： 2至6英寸樣品臺 高真空腔體 防輻射屏設計，樣品溫度均勻性更好 77K-675K高低溫環(huán)境 兼容IV/CV/RF測試 外置多探針臂，移動(dòng)行程大 經(jīng)濟實(shí)用，可無(wú)縫升*** |
產(chǎn)品參數
CGO-4高低溫真空探針臺腔體規格：
型號 | CGO-2/CGO-4/CGO-6 |
樣品臺尺寸 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
樣品固定 | 彈簧壓片 |
觀(guān)察窗口 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
真空度 | 10-6torr |
探針臂接口 | 4~6個(gè)探針臂接口 |
其他接口 | 電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口 |
制冷方式 | 液氮/液氦/制冷機 |
溫度范圍 | 77K到573K/4.5K到573K |
溫控精度 | 0.1K/0.01K/0.001K |
穩定性 | ±1K/±0.1K/±0.01K |
外形 | 880mm長(cháng)*880mm寬*600mm高/980mm長(cháng)*980mm寬*600mm高 |
重量 | 約100千克/120千克 |
產(chǎn)品介紹
極低溫測試:
因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時(shí)，空氣中的水汽會(huì )凝結在晶圓上，會(huì )導致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測試過(guò)程泵的運轉。
高溫無(wú)氧化測試：
當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現象會(huì )越來(lái)越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過(guò)度氧化會(huì )導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測試過(guò)程泵的運轉。
晶圓測試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會(huì )有相對位移，這時(shí)需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調整探針的位置。
光學(xué)系統：
顯微鏡類(lèi)型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移動(dòng)行程 | 水平360度旋轉，Z軸行程50.8mm |
光源 | 外置LED環(huán)形光源/同軸光源 |
CCD | 200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素 |
探針臂：
X-Y-Z移動(dòng)行程 | 50mm*50mm*50mm |
結構 | 外置探針臂，真空波紋管結構 |
移動(dòng)精度 | 10微米/1微米 |
線(xiàn)纜 | 同軸線(xiàn)/三軸線(xiàn)/射頻線(xiàn) |
漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
接頭類(lèi)型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線(xiàn)端子 |
頻率支持 | DC-67GHZ |
針尖直徑 | 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
其他組件：
真空組件 | 分子泵組/機械泵/離子泵 |
冷源組件 | 50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機 |
可選附件
超高溫配件 |
顯示器 |
轉接頭 |
射頻測試配件 |
屏蔽箱 |
光學(xué)平臺 |
鍍金卡盤(pán) |
光電測試配件 |
高壓測試配件 |
分子泵組 |
激光系統 |
氣敏測試配件 |
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
