晶圓測試探針臺，射頻探針臺，高壓探針臺
價(jià) 格：詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地：更新時(shí)間：2021-05-13 13:56
品 牌：其他型 號：CS-4
狀 態(tài)：正常點(diǎn)擊量：1378
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IGBT測試高壓大電流探針臺，技術(shù)指標如下：
設備名稱(chēng) | 技術(shù)指標 |
1、探針臺臺體 CL-6 | ? 6" 卡盤(pán)，采用中心吸附孔和3圈吸附環(huán)固定樣品，分別由3個(gè)開(kāi)關(guān)獨立控制 ? 卡盤(pán)X-Y的移動(dòng)范圍 6＇＇X6＇＇，移動(dòng)精度：10微米 ? 卡盤(pán)可以 360 度旋轉，細調精度不大于 0.1 度，帶有鎖定旋鈕 ? Chuck 漏電低于 100fA ， 平坦度誤差小于 5um 。 ? Chuck 鍍金，用于做背電極,可以進(jìn)行雙面測試 ? 卡盤(pán)臺可以上下快速升降4mm，便于樣品快速分離探針 ? 顯微鏡環(huán)繞立柱旋轉式設計，便于快速移動(dòng)顯微鏡， 顯微鏡移動(dòng)范圍覆蓋樣品臺 ? 可調節顯微鏡在 X-Y 平面4" x 4" 范圍內移動(dòng),精度1微米（此項行程升***為4寸，系統不包含顯微鏡） |
2、體視顯微鏡 CB-M | ? 變焦： 0.8 倍 ~5 倍 ， 總放大倍率： 16 倍 ~200 倍 ? 雙目觀(guān)察傾斜 45 度，雙瞳距調節范圍 52-75mm ? 顯微鏡在 X ， Y ， Z 軸方向的調節范圍： > 50.8mm ，調節精度小于 10 微米 ? 工作距離:115mm 變倍比：1:6.7 ? 帶 CCD 接口和 0.4X C-mount ? *小分辨率2um |
3、高壓大電流探針座 GVDI-40 | ? 磁力開(kāi)關(guān)底座 ? 線(xiàn)性，無(wú)后座力移動(dòng) ? 探頭接口和線(xiàn)纜45度連接，無(wú)需L型轉接頭 ? X-Y-Z 方向的移動(dòng)行程分別為 13mm ? 精度2微米 ? 調節架可進(jìn)行30度以?xún)鹊慕嵌日{節 ? 高壓大電流測試適用 |
4、SHV高壓夾具 | ? 漏電精度低于1pA ? 大電流10A,高壓2kv（不能同時(shí)達到） ? 2.1m線(xiàn)纜（銅管TubulerType）接頭和客戶(hù)設備配 ? 50Ω阻抗，測試頻率直流-100Mhz （與浙江五強晶體管特性圖示儀配套使用） |
5、SHV高壓大電流探針 | ? 電流范圍0-10A ? 電壓范圍0-2kV ? 2kV時(shí)，電流需控制在10mA以?xún)?/p> ? 電流10A時(shí)，電壓不能超過(guò)5v ? 漏電精度100fA |
6、真空泵 VP0125 | ? 可24小時(shí)連續工作 ? 靜音無(wú)油真空泵 7 升/分鐘 ? 體積小巧 （可選項） |
7、屏蔽箱 | ? 有效屏蔽信號干擾和漏電，提升測試精度 ? 防止意外觸電 |
8、固定支座 | ? 880*580*700mm，阻尼抗震 ? 承重 300kg左右 |
9、面包板 | ? 1200*600*50mm ? 蜂窩型板 ? 孔距25mm，孔徑M6 ? 表面粗糙度:<2um |
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滬公網(wǎng)安備31011502016460號
