產(chǎn)品特征:
· 易于安裝
· 基于視窗結構的軟件,很容易操作
· 的光學(xué)設計,以確保能發(fā)揮出*佳的系統性能
· 基于陣列設計的探測器系統,以確??焖贉y量
· 獨特的光源設計,有著(zhù)較好的光源強度穩定性
· *多可測量5層的薄膜厚度和折射率
· 在毫秒的時(shí)間內,可以獲得反射率、透射率和吸收光譜等***些參數
· 能夠用于實(shí)時(shí)或在線(xiàn)的厚度、折射率測量
· 系統配備大量的光學(xué)常數數據及數據庫
· 對于每個(gè)被測薄膜樣品,用戶(hù)可以利用的軟件功能選擇使用NK數據庫、也可以進(jìn)行色散或者復合模型(EMA)測量分析;
· 可升***至MSP(顯微分光光度計)系統,SRM成像系統,多通道分析系統,大點(diǎn)測量。
· 通過(guò)模式和特性結構直接測量。
· 提供的各種配件可用于特殊結構的測量,例如通過(guò)曲線(xiàn)表面進(jìn)行縱長(cháng)測量。
· 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶(hù)數據管理界面。
系統配置
型號:SRT100
檢測器:雙通道CCD陣列的每個(gè)像素2048
光源:氘燈和高功率鹵素燈
光傳輸:光纖
載物臺:黑色鋁合金樣品測量平臺輕松調整高度,100mmx100mm尺寸
通訊:USB
測量類(lèi)型:薄膜厚度,反射光譜,透射光譜,折射率
軟件:TFProbe 2.3
電腦需要:常規配置
電源:110 - 240伏交流電/ 50 - 60Hz的,1.5A
保修:1年
產(chǎn)品規格
波長(cháng)范圍:250nm到1100 nm
光斑尺寸:500μm至5mm
樣品尺寸:100mmx100mm
基板尺寸:*多可至50毫米厚
測量厚度范圍*:5nm-50μm
測量時(shí)間:*快2毫秒
精確度:優(yōu)于0.5%(通過(guò)使用相同的光學(xué)常數,讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較)
重復性誤差*:小于1A
產(chǎn)品應用:
半導體制造(PR,Oxide, Nitride..)
液晶顯示(ITO,PR,Cell gap... ..)
醫學(xué),生物薄膜及材料領(lǐng)域等
油墨,礦物學(xué),顏料,調色劑等
醫藥,中間設備
光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
半導體化合物 非晶體,納米材料和結晶硅
在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜