Park NX-Hivac
用于失效分析的高真空掃描
先進(jìn)的StepScan自動(dòng)化掃描和更快的激光校準技術(shù)
多樣品模塊
Park招牌技術(shù)便捷的針尖替換
大型真空腔300mm X 420mm X 320mm
提供超長(cháng)觀(guān)測距離的同軸光學(xué)設備
用于提高靈敏度的高真空SSRM
Park NX-Hivac 是***種尖端的高真空原子力顯微鏡，旨在為在高度摻雜的半導體進(jìn)行精確的失效分析。
Park NX-Hivac 是***臺真正的高真空原子力顯微鏡，利用Park的招牌技術(shù)。
并提供可重復且容易實(shí)現的高清晰度和低噪聲的測量，使其成為提高實(shí)驗室效率和準確性的完美選擇。
Park NX-Hivac
世界上*精確的應用于失效分析的易用型高真空原子力顯微鏡
Park NX-Hivac
用于失效分析應用的高真空掃描
Park NX-Hivac允許故障分析工程師通過(guò)高真空SSRM提高測量的靈敏度和分辨率。高真空掃描能提供比大氣或干燥的N2條件下更高的精度、更好的可重復性，還能減少針尖和樣品的損傷，用戶(hù)從而可以在失效分析應用中測量更廣闊范圍的涂料濃度和信號響應。
在高真空條件下進(jìn)行SSRM(Scanning Spreading-Resistance Microscopy-掃描擴展電阻顯微鏡)測量能夠減少所需的針尖-樣品相互作用力，這可顯著(zhù)減少對樣品和針尖的損傷，并能延長(cháng)每個(gè)針尖的壽命，使掃描更方便，并能通過(guò)提高空間分辨率和信噪比從而提供更準確的結果。高吞吐量、低成本、高精度使得NX-Hivac成為為故障分析工程師提供的高真空SSRM測量的*優(yōu)選擇。
Park NX-Hivac
高***自動(dòng)化特性
NX-Hivac可將用戶(hù)所需的輸入操作*簡(jiǎn)化，用戶(hù)可以更快地掃描從而提高實(shí)驗室的實(shí)驗成果。
包含機動(dòng)平臺的StepScan自動(dòng)化
StepScan為用戶(hù)提供了對設備進(jìn)行編程的能力，以快速且簡(jiǎn)單地對多個(gè)區域進(jìn)行成像。NX-Hivac只需用戶(hù)嘗試五個(gè)操作步驟掃描樣本：掃描、提升懸臂、將機動(dòng)平臺移動(dòng)到用戶(hù)定義的坐標、進(jìn)針和重復。這極大地提高了測量效率，并將所需的用戶(hù)輸入操作減少到限度。
機動(dòng)激光校準
帕克的機動(dòng)式激光束校準模塊允許用戶(hù)在無(wú)需輸入任何操作的情況下自由地進(jìn)行自動(dòng)測量程序。利用我們的預對準懸臂架，激光束在探針交換時(shí)聚焦在懸臂上。然后通過(guò)電動(dòng)定位旋鈕沿X軸和Y軸優(yōu)化激光光斑位置。
燕尾式鎖定
AFM掃描頭可以快速且容易地固定到燕尾形軌道上，具有幾微米的定位重復性。
多樣品載臺
磁性載臺*多可以容納五個(gè)獨立的樣品。通過(guò)減少激活真空泵和排氣口的需求從而提高測量效率。
大型真空室
NX-Hivac具有300mm X 420mm X 320mm的腔室尺寸，允許用戶(hù)掃描更大的樣品尺寸并在不破壞真空密封的情況下將更多的樣品放入真空室樣品臺上。
簡(jiǎn)單地探針和樣品更換
獨有的設計能讓用戶(hù)輕易地用手從側面更換新的探針和樣品。借助安裝懸臂式探針夾頭中預先對齊的懸臂，無(wú)需再進(jìn)行繁雜的激光校準工作。
可用手輕易更換
Park NX-Hivac
為高效率而設計
NX-Hivac有幾個(gè)可用性特征，這使得它比其他的AFM更加方便和有效。
Park SmartScan?
世界上*易操作的原子力顯微鏡軟件
無(wú)論您的AFM需求集中在學(xué)術(shù)研究，還是工業(yè)計量或故障分析，NX-Hivac的智能掃描自動(dòng)模式都提供了***個(gè)流水線(xiàn)系統，以生成高質(zhì)量的AFM數據。SmartScan還可幫助初次使用的學(xué)者在短時(shí)間內獲得高質(zhì)量數據。
Park Hivac Manager
NX-Hivac真空環(huán)境下自動(dòng)控制
高真空度由Hivac Manger控制， 通過(guò)單擊按鈕進(jìn)行邏輯和視覺(jué)控制，為優(yōu)化真空條件和排氣過(guò)程提供泵送。每個(gè)過(guò)程都通過(guò)顏色和示意圖變化進(jìn)行可視化監控，用戶(hù)無(wú)需擔心單擊按鈕后真空操作的順序。既迅速又便捷的真空控制軟件為用戶(hù)帶來(lái)易于使用的原子力顯微鏡操作和更好的測量效率。
自動(dòng)真空抽放
NX-Hivac允許用戶(hù)設置真空泵和排氣的自動(dòng)控制，進(jìn)***步簡(jiǎn)化掃描過(guò)程，減少所需的人力投入。采用渦輪泵和干式泵，平均泵速在10～5torr＜5min。
用戶(hù)友好界面
***個(gè)大的光學(xué)窗口提供對PSPD上的懸臂反射的激光光斑以及探針和樣品位置的便捷視圖。它還允許用戶(hù)輕松地控制視野，XY平臺，Z平臺，光學(xué)平臺，光強度和更多的CCD視圖。
SmartScan?智能模式下的單擊成像
用戶(hù)只需要確定的是原子力顯微鏡成像的像素密度和掃描尺寸。除了這些因素，您可將所有復雜的原子力顯微鏡參數都交由Park SmartScan?智能模式處理。系統將在*佳條件下開(kāi)始測量，點(diǎn)擊按鈕后自動(dòng)成像。
Park NX-Hivac
提高精度與效率
NX-Hivac是世界上*精確的高性能原子力顯微鏡，它也是*容易使用和方便用于失效分析的原子力顯微鏡。
Park NX-Hivac可幫助用戶(hù)提高測量效率并且完全信任您的測量結果。
閉環(huán)XY和Z軸掃描儀
為樣品和探針針尖而采用的兩個(gè)獨立的閉環(huán)XY和Z撓曲掃描儀，可保證用戶(hù)的掃描非常精確。NX-Hivac提供平面和正交的XY掃描，低殘余彎曲，在整個(gè)掃描范圍內提供小于1nm的平面外運動(dòng)。NX-Hivac還具有15 μm掃描范圍的高速Z軸掃描儀，Z軸掃描儀的非線(xiàn)性度小于0.5%。這提供了精確的2D和3D測量，而再也不需要軟件處理。
低噪聲XYZ位置傳感器
NX-Hivac的特色是Park AFM的行業(yè)的低噪聲Z探測器，它能夠精確地測量樣品形貌，而低噪聲XY閉環(huán)掃描將前后掃描間隙*小化到小于掃描范圍的0.15％。
24位數字電子
使用NX-Hivac中特有的NX系列標志的電子控制器，可使浪費的時(shí)間*小化，精度化。我們的控制器是***個(gè)全數字，24位高速設備，它的真正非接觸模式使用戶(hù)能夠執行廣泛的掃描范圍。該控制器具有低噪聲設計和高速處理單元，可滿(mǎn)足精密電壓和電流測量以及納米***成像。嵌入式電子器件還具有數字信號處理的特點(diǎn)，允許用戶(hù)容易地分析測量和成像。
規格
掃描儀
XY 掃描儀: 50 μm × 50 μm (100 μm x 100 μm optional)
Z 掃描儀: 15 μm
光學(xué)顯微鏡
物鏡: 10 x
5M pixel CCD
樣品臺
XY 平臺行程: 22 mm x 22 mm
樣品大學(xué): 50 mm x 50 mm, 厚度厚至20 mm
物理信息
真空室: 300 mm x 420 mm x 320 mm (外部)
250 mm x 320 mm x 270 mm (內部)
系統(包含花崗石&氣泵):
800 mm x 950 mm x 1304 mm
軟件
SmartScan: 帕克AFM 操作軟件
XEI: AFM 數據分析軟件
Hivac Manager: 自動(dòng)真空控制軟件
高真空
真空等***: 通常小于1 x 10-5 torr
泵速: 5 min內達到10-5 torr.
電子
ADC: 18 通道
4個(gè)高速ADC通道(50 MSPS)
用于X、Y和Z位置傳感器的24位ADC
DAC：12個(gè)通道
2個(gè)高速DAC通道道(50 MSPS)
用于X、Y和Z定位的20位DAC
3通道集成鎖相放大器
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
