氦離子顯微鏡ORION的基礎是革命性的、原子尺寸的、ALIS氣體場(chǎng)離子源。由單個(gè)原子發(fā)出的，極其明亮的氦離子束客服了衍射和能量擴展的限制，正是衍射和能量的擴展影響了電子束在掃描電鏡中的應用。
這就意味這ORION顯微鏡擁有***個(gè)非常小的束斑用于高分辨率成像。此外，在***個(gè)大大縮小了相互作用區里，獨特的氦離子束和樣品的動(dòng)力學(xué)結果貢獻了更高的分辨率和內涵豐富的襯度機制。
ORION顯微鏡也可以使用背散射氦離子成像，具有很強元素襯度的這種技術(shù)，提供了在樣品表面區分不同材料的能力。
ORION顯微鏡靈活性高、功能多樣，能夠提供廣泛的分析信息，其中包括：形貌、材料、電壓襯度、晶體學(xué)、表面和次表面信息，這種技術(shù)的另***個(gè)好處是在絕緣樣品上的卓越性能。
***、氦離子顯微鏡ORION技術(shù)參數
1、分辨率：0.75nm 45kv工作距離4mm；1.0nm 30kv工作距離4mm；2.5nm 10kv工作距離4mm
2、放大倍數：100x-1，000，000x
3、視野：1mm-100nm
4、離子束：1PA時(shí)〈1nm；離子束電流1 fA-25pA
5、離子源：氦氣體場(chǎng)離子源；壽命〉1000小時(shí)；離子源電動(dòng)對中
6、樣品室：體積400mm3；基體真空度2*10-7Torr；接口板可定制；載物鎖
7、圖像探測器：Evehart-Thornley二次電子探測器；微通道板（選配）；透射電子探測器（選配）
8、樣品臺：5軸電動(dòng)樣品臺，X 、Y軸行程50mm，Z軸行程12mm，360℃旋轉，0℃到45℃傾斜
9、真空系統：無(wú)油無(wú)微粒低真空泵設計，磁懸浮渦輪分子泵
10、攝像機：三臺監控攝像機***離子源觀(guān)察
11、樣品臺觀(guān)察、樣品室觀(guān)察
12、用戶(hù)界面：兩臺20英寸平板顯示器；圖像2048*2048像素；系統主要參數存檔功能
二、氦離子顯微鏡ORION主要特點(diǎn)
1.***流的材料襯度
2.超高分辨率
3.廣泛的分析信息
4.簡(jiǎn)單的樣品制備
5.離子源工作穩定、長(cháng)壽命
世界光學(xué)品牌，可見(jiàn)光學(xué)和電子光學(xué)的***。其電子光學(xué)前身為L(cháng)EO，更早叫Cambridge和ZEISS。1965年推出世界臺商業(yè)化掃描電鏡；1985年推出世界上臺數字化掃描電鏡。
卡爾·蔡司ORION氦離子顯微鏡堪稱(chēng)顯微成像領(lǐng)域中的重大突破，它所獲得的圖像具有前所未見(jiàn)的超高分辨率和材料襯度，并具有優(yōu)于五倍的景深。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
