瑞士lynceetec數字全息顯微鏡DHM
價(jià) 格:詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地:更新時(shí)間:2021-01-18 15:14
品 牌:型 號:R2200
狀 態(tài):正常點(diǎn)擊量:2164
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DHM是研究MEMS的理想工具,它可以:3D形貌:面內和離面運動(dòng)樣本的動(dòng)態(tài)特性快速圖像采集頻閃觀(guān)測模式縱向皮米***測量精度,視頻速率30幀/秒下實(shí)現實(shí)時(shí)三維動(dòng)態(tài)成像
DHM對于離面(Out-of-plane)運動(dòng)的測量達到了MEMS多普勒激光測振儀(也被稱(chēng)為MEMS分析儀)的精度,而對于面內(In-plane)運動(dòng)的測量精度則遠遠超過(guò)目前市場(chǎng)上其他MEMS分析儀的測量精度,達到了1納米。
反射式數字全息顯微鏡DHM®系列(DHM-R1000, DHM-R2100 、 DHM-R2200) |
動(dòng)態(tài)可測垂直高度(無(wú)須掃描情況下) | 連續結構: 200 μm 臺階:15 μm |
水平分辨率 | 由所選物鏡決定, 333 nm(@100×) |
垂直精度 | 小至 0.15 nm |
垂直分辨率 (定義為兩倍于精度) | 小至 0.30 nm |
精度 (定義為對單***像素點(diǎn)做30次測量后取時(shí)域標準差) | 小至 0.01 nm |
垂直校準 | 由干涉濾波決定,±0.1 nm |
垂直掃描下的可測垂直高度 | 由電動(dòng)樣品臺決定,達 10 mm |
視場(chǎng) | 由所選物鏡決定,從66μm×66μm 到5 mm x 5 mm |
圖像抓取速率 | 標準:155fps (1024 x 1024). (可選 1000 fps). |
圖像抓取時(shí)間 | 標準:60 μs (可選高速只需 10 μs) |
工作距 | 由所選物鏡決定,從0.3 mm 到 18 mm |
數字自動(dòng)聚焦范圍 | 由所選物鏡決定, 可達景深的 50倍 |
視場(chǎng) | 1024 x 1024 像素點(diǎn) |
工作距 | < 1% |
采樣空間 | 1024 x 1024 像素點(diǎn) |
可測樣品反射率 (僅對反射式 DHM ) | < 1% 更多資料:paynedu@126.com |
時(shí)間分辨動(dòng)態(tài)輪廓 | 全息MEMS測振分析 |
高達1000幀/秒的動(dòng)態(tài)形貌時(shí)序圖 MEMS振動(dòng)可測頻率高達25MHz
Ø 靜態(tài)&超快動(dòng)態(tài)形貌分析(無(wú)需掃描,動(dòng)態(tài)可測高度:臺階15um,連續結構200um) Ø 面內面外振幅分析(面內振幅測量精度1nm,面外振幅測量 精度5pm)
Ø 表征樣品動(dòng)態(tài)響應 Ø 頻率共振分析和響應分析
Ø 氣體、液體、真空或透過(guò)玻璃等多種環(huán)境下測量 Ø 復雜運動(dòng)表征,振動(dòng)模態(tài)表征,樣品動(dòng)態(tài)三維形貌
4D反射測量 | 高速光學(xué)三維質(zhì)量檢測 |
表征透明/半透明形貌 在線(xiàn)檢測速度可達15厘米/秒
Ø 測量厚度從幾納米到幾十微米 Ø 振動(dòng)不敏感
Ø 可測三層透明薄膜 Ø 無(wú)需校準
Ø 測量薄膜折射率 Ø 高速測量