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 　　透射電子顯微鏡是的提供在較高時(shí)間分辨率下得到原子***空間分辨率的實(shí)驗手段。透射電子顯微鏡原位電學(xué)性能測試系統是在標準外形的透射電鏡樣品桿內加裝掃描探針控制單元，通過(guò)探針對單個(gè)納米結構進(jìn)行操控和電學(xué)測量。并可在電學(xué)測量的同時(shí)，動(dòng)態(tài)、高分辨地對樣品的晶體結構、化學(xué)組分、元素價(jià)態(tài)進(jìn)行綜合表征，極大地擴展了透射電子顯微鏡的功能與應用領(lǐng)域。

　　本系統包括包括兩部分，分別是掃描探針控制器（內含電流前置放大器）與原位測量樣品桿部分。

透射電子顯微鏡指標

• 保證透射電鏡原有的分辨率（非球差校正）；

掃描探針操縱指標

• 粗調范圍：XY方向3.0mm，Z方向1.5mm。

• 細調范圍：XY方向20um，Z方向2.0um。

• 細調分辨率：XY方向0.3nm，Z方向0.03nm。

電學(xué)測量指標

• 包含***個(gè)電流電壓測試單元。

• 電流測量范圍：0-20mA，5個(gè)量程。*小電流分辨率：30fA。

• 電壓輸出范圍：普通模式±10V，高壓模式±150V。

• 自動(dòng)電流-電壓（I-V）測量、電流-時(shí)間（I-t）測量，自動(dòng)保存。

注：以上指標可能根據系統配置不同而略有變化