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　　透射電子顯微鏡是的提供在較高時(shí)間分辨率下得到原子***空間分辨率的實(shí)驗手段。透射電子顯微鏡原位力學(xué)-電學(xué)性能測試系統是在標準外形的透射電鏡樣品桿內加裝掃描探針控制單元，通過(guò)探針對單個(gè)納米結構進(jìn)行操控和力學(xué)、電學(xué)測量。并可在力學(xué)-電學(xué)測量的同時(shí)，動(dòng)態(tài)、高分辨地對樣品的晶體結構、化學(xué)組分、元素價(jià)態(tài)進(jìn)行綜合表征，極大地擴展了透射電子顯微鏡的功能與應用領(lǐng)域。

　　本系統包括掃描探針控制器（內含電流前置放大器、納牛力傳感器）、原位測量樣品桿和高性能電腦與控制軟件。各方面指標如下：

。

掃描探針操縱指標

1. 粗調為壓電陶瓷慣性步進(jìn)。粗調范圍：XY 方向2.5mm，Z 方向1.5mm。

2. 細調為壓電陶瓷掃描方式。細調范圍：XY 方向18um，Z 方向1.5um。（細調范

圍允許±20%的誤差。）

3. 細調分辨率：XY 方向0.3nm，Z 方向0.02nm。

電學(xué)測量指標

1. 包含***個(gè)電流電壓測試單元。

2. 電流測量量程范圍1nA-20mA， 9 個(gè)量程，*小電流分辨率：10fA。

3. 電壓輸出范圍：±10V 和±150V 兩個(gè)量程。

4. 自動(dòng)進(jìn)行電流-電壓（I-V）測量、電流-時(shí)間（I-t）測量，自動(dòng)保存。

力學(xué)傳感器指標

1. 懸臂梁彈性系數范圍2.5N/m ~ 40N/m。

2. Z 方向位移1.5um，分辨率0.02nm。

3. 載荷分辨率優(yōu)于0.5nN（使用4N/m 懸臂梁時(shí)）。

4. 自動(dòng)測量力-距離曲線(xiàn)，自動(dòng)保存。

定制部分

1. 樣品載臺為可更換形式的力、電載臺

2. 可包含***個(gè)安裝金絲的電學(xué)測量樣品載臺

3. 可包含***個(gè)安裝銅環(huán)樣品的電學(xué)測量樣品載臺

注：以上指標可能根據系統配置不同而略有變化