產(chǎn)品介紹 μsurf系列3D激光共聚焦顯微鏡采用多孔共聚焦技術(shù)，結合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉盤(pán)取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動(dòng)，以類(lèi)似斷層攝影方式，可在短時(shí)間(約幾秒)內精確量測物體的三維數據。其測量方式是非接觸式，不會(huì )破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來(lái)觀(guān)測樣本，其在嚴酷的工作環(huán)境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時(shí)，跟其他方法相比，可以更精確量測物體高度，建立3D立體影像，優(yōu)勢相當明顯。
NanoFocus μsurf explorer機臺功能齊全，結構緊湊，性?xún)r(jià)比高，并擁有超高光學(xué)分辨率和*全面廣泛的三維表面形貌分析能力。
應用
μsurf系列3D激光共聚焦顯微鏡用來(lái)測量表面物理形貌，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。
精密部件：檢測對表面磨損，表面粗糙度，表面微結構有要求的零部件，比如發(fā)動(dòng)機汽缸、刀口等;
生命科學(xué)：測量stents支架上鍍層厚度等
微電子機械系統：微型器件的檢測，醫藥工程中組織結構的檢測，如基因芯片等
半導體：檢測微型電子系統，封裝及輔助產(chǎn)品結構設計
太陽(yáng)能：電池片柵線(xiàn)的3D形貌表征、高寬比測量，制絨后3D形貌表征（單晶金字塔大小、數量、角度，多晶腐蝕坑形貌、密度），粗糙度分析等
紙張：紙張、錢(qián)幣表面三維形貌測量
技術(shù)參數
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
測量時(shí)間：5~10秒
測量原理：非接觸、共聚焦
X/Y方向，平臺移動(dòng)范圍：50mmX50mm，馬達驅動(dòng)，分辨率：0.3μm
Z方向測量范圍：250μm，分辨率：2nm
物鏡：10X、20X、50X、100X(可選)
計算機：高性能計算機控制系統，功能全面的軟件，有拼接功能，
工作電源：100-240V, 50-60Hz, input<45W
材質(zhì)：鋼鐵、橡膠、大理石
外型尺寸：710x270x330 mm (HxWxD)
重量：28KG
潔凈室等***: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)
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曼戈斐光學(xué)專(zhuān)業(yè)銷(xiāo)售光學(xué)測量?jì)x ,可以檢測粗糙度,幾何形狀,平整度,磨損度,軸承比率等,提供靈活的共聚焦3D顯微鏡測量.
上海曼戈斐光學(xué)技術(shù)有限公司主營(yíng)產(chǎn)品：3D激光共聚焦顯微鏡,高速攝像機,三維形貌輪廓儀,共聚焦顯微鏡,全自動(dòng)影像儀,全自動(dòng)晶元檢測系統,太陽(yáng)能表面檢測系統,自動(dòng)影像儀,共聚焦顯微鏡,光學(xué)測量?jì)x,便攜式共聚焦顯微鏡，白光共聚焦顯微鏡，激光共聚焦顯微鏡，3D共聚焦顯微鏡。
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