IC檢測晶圓裝載機
IC檢測晶圓裝載機NWL860TMB/TM/T
***個(gè)的宏觀(guān)檢查的主機需要***流的功能
為了支持*新的晶圓的過(guò)程,涉及增加密度,多層次,顯微鏡報價(jià),逐步提高的步驟,這種類(lèi)型使各項宏觀(guān)檢查職能,包括微型檢查(運輸),圖案方宏檢查,背面中心和外圍宏觀(guān)檢查,體視顯微鏡。用戶(hù)可以從三個(gè)型號- TMB,以舊換新,生物顯微鏡,和T-根據自己的需要選擇,北京顯微鏡。這些模型提供了多種特性,包括非接觸式定心由光電傳感器控制,北京生物顯微鏡,以防止污染;大,易于閱讀的LCD控制面板和高吞吐量的多ARM系統,光學(xué)顯微鏡,簡(jiǎn)化晶圓裝卸;和支持150毫米和200mm晶圓。
(圖為***個(gè)Eclipse L200 IC檢查顯微鏡相結合晶圓裝載機的例子。)
IC檢測晶圓裝載機NWL860TMB SP
***個(gè)的宏觀(guān)檢查的主機需要***流的功能
加強宏觀(guān)職能的TMB系列添加了以下功能:
不銹鋼人體不會(huì )產(chǎn)生靜電
提供緊急停止開(kāi)關(guān)(EMO)
真空吸盤(pán)裝置使用的PEEK塑料,使檢查晶圓是很難劃傷。
符合SEMI(秒)標準的數據通信功能(可選)
(照片是用Eclipse L200 IC檢查顯微鏡配置為例)