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尼康 L200 半導體 8寸 晶圓檢查 顯微鏡

L200特點(diǎn)：

CFI60無(wú)限遠光學(xué)系統是將尼康***的CF（自動(dòng)消色差）設計與無(wú)限遠光學(xué)系統結合在***起，使得物鏡不僅工作距離更長(cháng)，而且數值孔徑更高； 
符合SEMI S2-93A,S8-95設計； 
利用計算機輔助工程系統（CAE）對機身進(jìn)行防震設計； 
具有全面的防污染措施。 
主要技術(shù)參數：
調焦機構
行程：29mm，粗調：每轉12.7mm（扭矩可調，具有再聚焦制動(dòng)裝置），微調：每轉0.1mm，每格1µm。 
落射照明器 內置12V100W鹵素燈，內置式孔徑光闌（中心可調），固定型視場(chǎng)光闌（具有可調對準板），還可安裝選配的小孔光闌滑塊，可安裝的4個(gè)ø25mm的濾光片（NCB11,ND4，ND16），具有起偏器和檢偏器。 
透射照明器
（僅L200D） 內置12V100W鹵素燈，內置式孔徑光闌，內置式LWD聚光器，可安裝的2個(gè)ø25mm的濾光片（NCB11,ND4）。 
物鏡轉換器 固定式六孔***物鏡轉換器，具有DIC插槽 
目鏡筒 超寬視場(chǎng)可傾式三目鏡筒 
載物臺 8X8載物臺，行程：205X205mm （透射觀(guān)察時(shí)：105X105mm）粗微移動(dòng)可以互換，X-Y方向微動(dòng)手柄位置固定。 
目鏡 CFI目鏡系列 
物鏡 CFI LU/L 平場(chǎng)系列