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儀器簡(jiǎn)介：

德***徠卡(LEICA)在智能數字式金相顯微鏡DM4000M基礎上提供了6英寸的移動(dòng)平臺,適合半導體行業(yè)對硅片檢查的要求.智能化的操控與光學(xué)品質(zhì)的結合為半導體行業(yè)提供高效率的工具.

技術(shù)參數：

• 智能型操作, 智能型照明,
• 恒定色溫, 圖像無(wú)顏色差別
• 反射光明場(chǎng), 暗場(chǎng), 偏光, 微分干涉, 熒光
• 透射光明場(chǎng), 暗場(chǎng), 微分干涉
• M32 六位物鏡轉換
• 專(zhuān)用平場(chǎng)消色差, 平場(chǎng)半復消色差暗場(chǎng)物鏡, 平場(chǎng)復消色差暗場(chǎng)物鏡,
• 可接顯微硬度儀, 繪圖儀, 宏觀(guān)儀
• 可接微分干涉臺階儀進(jìn)行高精度測量
• CCD或照相系統,
• 與多種顯微圖像分析軟件共用
• 可升***為其他觀(guān)察方法
• 無(wú)限遠光路

主要特點(diǎn)：

1,智能型按鍵操作, 實(shí)現型照明,智能CICC技術(shù)使色溫恒定, 圖像無(wú)顏色差別,更可***記憶并恢復已觀(guān)察的條件
2,光強,光欄,反射光模塊液晶顯示屏,顯示即時(shí)狀態(tài)
3,手動(dòng)調焦
4,6英寸硅片專(zhuān)用機械載物臺,可配電動(dòng).