瑞士Bal-Tec離子減薄儀RES101
減薄角度可調由0o至90o
***體化設計,重復性實(shí)驗設備,可靠具操作性
全電腦控制,精確的參數調整,運行中無(wú)需人干涉
鞍式離子槍,高能量-快速蝕刻
制冷系統,銅傳導,確保TEM,SEM在低溫下操作
主機內置2***泵,確保高真空
減少裝卸時(shí)間,高效率
操作簡(jiǎn)便直觀(guān),帶自保護防止離子溢出與過(guò)熱功能
法拉力環(huán)檢查樣品是否穿孔,自動(dòng)終止功能
裝載閘保持系統高真空度穩定不變
減薄過(guò)程中離子能量高低可調
內置視頻監視器,直接觀(guān)察樣品減薄情況
可編程,觸摸屏設計,直觀(guān)操作
減薄角度可調由0o至90o
主機內置2***泵,確保高真空
全計算機控制的多功能離子減薄系統,有高度的靈活性.