Q150GB全自動(dòng)高真空濺射鍍膜儀(用于手套箱)
價(jià) 格:詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地:英國更新時(shí)間:2021-02-26 15:31
品 牌:Quorum型 號:Q150GB
狀 態(tài):正常點(diǎn)擊量:2627
400-006-7520
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Q150GB全自動(dòng)高真空濺射鍍膜儀(用于手套箱)
主要特點(diǎn):
? 可安裝在手套箱內的模塊化系統
? 整體手套箱壓力監測
? 金屬濺射、碳蒸發(fā) – 或二者兼有
? 觸摸屏控制模塊置于手套箱外部操作
? 鍍膜顆粒精細
? 高真空渦輪分子泵抽真空
? 可選通過(guò)膜厚監控儀實(shí)現厚度控制
產(chǎn)品參數
Q150GB全自動(dòng)高真空濺射鍍膜儀(用于手套箱)
技術(shù)參數:
技術(shù)規格
儀器尺寸:267mm W x 490mm D x 494mm H 總重量:40公斤
工作腔室:硼硅酸鹽玻璃152mm Dia (內部) x 214mm H
安全鐘罩:整體PET
樣品臺:直徑為50mm的旋轉樣品臺。轉速8-20 rpm
真空范圍: 10-5 mbar量級
濺射可選靶材:Au金、Au/Pd金鈀合金、Pt鉑、Pt/Pd鉑鈀合金、Ag銀、Al鋁、C碳、Cr鉻、Co鈷、Cu銅、Fe鐵、Ir銥、Mg鎂、Mo鉬、Ni鎳、Pd鈀、Sn錫、Ta鉭、Ti鈦、W鎢、ITO氧化銦錫等
蒸發(fā)源:可選用碳棒進(jìn)行熱蒸發(fā)鍍碳,也可使用鎢絲籃或鎢舟/鉬舟進(jìn)行熱蒸發(fā)鍍各種金屬膜。
產(chǎn)品介紹
Q150GB全自動(dòng)高真空濺射鍍膜儀(用于手套箱)
儀器簡(jiǎn)介:
英***Q150GB渦輪泵高真空、模塊化鍍膜系統,自動(dòng)程序控制,傻瓜相機式的簡(jiǎn)單操作。其鍍膜單元可置于各種手套箱內,外置觸摸屏用戶(hù)界面、電源單元和前***機械泵??杀O測手套箱壓力。該系統不同的配置可以實(shí)現離子濺射鍍膜、碳蒸發(fā)/金屬蒸發(fā)鍍膜或濺射蒸發(fā)二者兼有之功能,可用于SEM、TEM及薄膜樣品鍍膜,也常用于鋰電池科研等需要在手套箱內鍍膜的樣品。