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產(chǎn)品詳細介紹: 形貌測量軟件包 Y向驅動(dòng):依所用X/Y工作臺而定,測量原理:探針式 達100mm 驅動(dòng)器:可直接連接PGK、PZK:PRK通過(guò)PAV 62 參數:可選擇不同的新的三維特征 適配器連接:PCV, PPT100可直接連接 視圖測量范圍:(µm)±25,±250,±2500,±25000 輪廓點(diǎn)間距:依所用驅動(dòng)器而定掃描長(cháng)度:依所用驅動(dòng)器而定,達200mm

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