基于25年涂鍍層測量經(jīng)驗,在CMI900系列測厚儀的堅實(shí)基礎上,引進(jìn)全新的設計:
- 新100瓦X射線(xiàn)管 - 市場(chǎng)上所能提供的*強大的X射線(xiàn)管。提高30%測量精度,同時(shí)減少50%測量時(shí)間
- 更小的X射線(xiàn)光斑尺寸 - 新增15mil直徑準直器,可測量電子器件上更小的部位。提供改進(jìn)的CCD攝像頭及縮放裝置,同時(shí)提供更高精度的Y軸控制。
- 距離獨立測量(DIM) - 更靈活地特殊形狀樣品,可在DIM范圍內12.5-90mm(0.5-3.5inch)對樣品表面進(jìn)行測量,Z軸可控制范圍為230mm(9inch)??赏ㄟ^(guò)手動(dòng)調整也可以通過(guò)自動(dòng)鐳射聚焦來(lái)實(shí)現對樣品的精確對準。
- 自動(dòng)鐳射聚焦 - 自動(dòng)尋找振決的聚焦距離,改善DIM的聚焦過(guò)程并提高系統測量再現性。也可選擇標準的鐳射聚焦模式。
- 全新的大型樣品室 - 更大的開(kāi)槽式樣品室(580x510x230mm : 23x20x9inch),開(kāi)槽式設計可容納超大尺寸的樣品??蓮母鱾€(gè)方向簡(jiǎn)便的裝載和觀(guān)察樣品。
- 3種樣品臺選項 - XY程控控制(200x200mm或8x8inch移動(dòng)范圍)/XY手動(dòng)控制(250x250mm或10x10英寸)/固定樣品臺;標準配置Z軸程控控制(230mm或9inch移動(dòng)范圍)。
- 內置PC用戶(hù)界面
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