勻膠機(英文名:Spin Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜
詳細介紹: 勻膠機(英文名:Spin Coater)
行業(yè)俗稱(chēng):勻膠臺,甩膠機,涂膠機,鍍膜機,涂層機
品牌 LAURELL
型號 WS-650-23N WS-650-8N WS-650-15N SPIN Coater勻膠機WS65023N
產(chǎn)品概述:
SPIN Coater勻膠機WS65023N型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.
勻膠機穩定的轉速和快速的啟動(dòng),可以保證半導體中膠厚度的***致性和均勻性,這正是WS650型均勻膠機的特點(diǎn).
該機在這方面采取了許多措施:
(***)該設備采用美***先進(jìn)技術(shù).
(二)轉速在12000轉/分范圍內非*常穩定.
(三)本勻膠機采用PLC控制,速度無(wú)極調節.在啟動(dòng)之后,***般工藝先以低速運轉,使膠攤開(kāi),然后自動(dòng)變到高速運轉.步驟轉速及相應的時(shí)間分別可調.
(四)本勻膠機采用直流驅動(dòng)馬達,超過(guò)10年的使用歷史
(五)"吸片"采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線(xiàn)的工藝,***個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾個(gè)勻膠機工作,提高了效率.
(六)智能型調節勻膠時(shí)間,***數字顯示
(七)在安裝結構上,采取了減振措施,保證了在運轉時(shí)噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過(guò)調節轉速調節涂覆厚度.
(八)勻膠機配真空泵使用.
SPIN Coater勻膠機WS65023N 性能指標:
高性能馬達驅動(dòng)
旋轉控制
Mz型高精度旋涂用馬達
轉速范圍:50~12000RPM (注 50RPM是***小穩定轉速)
***大加速度:13000RPM/S;
轉速誤差:<±0.5RPM @8000RPM NIST標準認證;
勻膠均勻性:<1% @6 inch Wafer
電源電壓:220V/ 50Hz
電機功率:200W
適用:Φ10-Φ150mm硅片及其它材料等勻膠.
體積小,重量輕,操作簡(jiǎn)便
客戶(hù)參考:香港理工大學(xué),香港科技大學(xué),香港城市大學(xué),北京大學(xué),清華大學(xué)復旦大學(xué),東南大學(xué),北京工業(yè)大學(xué),江蘇工業(yè)大學(xué),上海大學(xué),北京科技大學(xué),電子科技大學(xué) ,中***地質(zhì)大學(xué),廈門(mén)大學(xué),天津大學(xué),貴州大學(xué),西南師范大學(xué),香港電訊學(xué)院,陜西師范大學(xué),北京石油化工學(xué)院,重慶西南大學(xué),中***地質(zhì)大學(xué),北京理工大學(xué),哈爾濱工業(yè)大學(xué),哈爾濱工程大學(xué),武漢大學(xué),西安交通大學(xué),四川大學(xué),四川師范大學(xué),同濟大學(xué),天津大學(xué),西南交通大學(xué),南京大學(xué),南京工業(yè)大學(xué),華中科技大學(xué),河南大學(xué),鄭州大學(xué)等。
中***科學(xué)院上海硅酸鹽研究所,華為集團、TCL集團等***高校及半導體微電子行業(yè).。
主要市場(chǎng)
中***、香港、韓*** 、新加坡、美*** 等******
產(chǎn)品用途: WS650型勻膠機適合半導體硅片,晶片,基片,導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.