FT110系列X射線(xiàn)熒光鍍層厚度測量?jì)x
1.即放即測!
2.10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測量!
3.可無(wú)標樣測量!
4.通過(guò)樣品整體圖像更方便選擇測量位置!
1. 通過(guò)自動(dòng)定位功能提高操作性
測量樣品時(shí),以往需花費約10秒的樣品對焦,現在3秒內即可完成,大大提高樣品定位的操作性。
2. 微區膜厚測量精度提高
通過(guò)縮小與樣品間的距離等,致使在微小準直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。
3. 多達5層的多鍍層測量
使用薄膜FP法軟件,即使沒(méi)有厚度標準片也可進(jìn)行多達5層10元素的多鍍層測量。
4. 廣域觀(guān)察系統(選配)
可從***大250×200mm的樣品整體圖像指定測量位置。
5. 對應大型印刷線(xiàn)路板(選配)
可對600×600mm的大型印刷線(xiàn)路板進(jìn)行測量。
型號 | FT110 |
測量元素 | 原子序號Ti(22)~Bi(83) |
X射線(xiàn)源 | 空冷式小型X射線(xiàn)管 管電壓:50(可變更)kV 管電流:10~1000μA |
檢測器 | 比例計數管 |
準直器 | ○型: 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ 他2種 |
樣品觀(guān)察 | CCD攝像頭 |
對焦 | 激光對焦(自動(dòng)) |
濾波器 | ***次濾波器(自動(dòng)切換) |
樣品區域 | [固定]535×530 mm [電動(dòng)] 260×210 mm (移動(dòng)量X:250 mm, Y:200 mm) |
測量軟件 | 薄膜FP法(***大2層、10種元素)、檢量線(xiàn)法 |
安全功能 | 樣品室門(mén)聯(lián)鎖、樣品沖突防止功能、儀器診斷功能 |