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日立 FT110A X射線(xiàn)熒光鍍層厚度測量?jì)x

概要：

自1978年以來(lái)取得傲人銷(xiāo)量的X射線(xiàn)熒光鍍層厚度測量?jì)x的第八代產(chǎn)品FT110A。在測量精度、操作性能、軟件上有新的優(yōu)化。

通過(guò)自動(dòng)定位功能，只需把樣品放在樣品臺上，便能在數秒內自動(dòng)對準觀(guān)察樣品焦點(diǎn)，省略了以前手動(dòng)逐次對焦的操作，大幅提高了測量效果。

型號名稱(chēng)：FT-110A

測量元素：原子序數22（Ti）~83（Bi）

檢測器：比例計數管

X射線(xiàn)管：管電壓：50kV 管電流：1mA

準直器：4種（Φ0.05mm、Φ0.1mm、Φ0.2mm、Φ0.025×0.4mm）

樣品觀(guān)察：CCD攝像頭（可進(jìn)行廣域觀(guān)察）

X-Ray Station：電腦、19英寸液晶顯示器

膜厚測量軟件：薄膜EP法、標準曲線(xiàn)法

測量功能：自動(dòng)測量、中心搜索

定性功能：KL標記、比較表示

使用電源：220V/7.5A

特長(cháng)：

1.自動(dòng)對焦功能 自動(dòng)接近功能
在樣品臺上放置各種高度的樣品時(shí)，只要高低差在80mm范圍內，即可在3秒內自動(dòng)對焦被測樣品。由此進(jìn)***步提高定位操作的便捷性。

●自動(dòng)對焦功能 簡(jiǎn)便的攝像頭對焦

●自動(dòng)接近功能 ***適合位置的對焦

2.通過(guò)新 薄膜FP法提高測量精度

實(shí)現微小光束的高靈敏度，通過(guò)微小準直器提高了膜厚測量精度。鍍層測量時(shí)間比本公司原有機型縮短了1/2。另外，針對檢測器的特性開(kāi)發(fā)了新的EP法，可進(jìn)行無(wú)標樣測量。測量結果可***鍵生成報告書(shū)，簡(jiǎn)單方便。

●新 薄膜EP法

減少檢量線(xiàn)制作的繁瑣程度、實(shí)現了設定測量條件的簡(jiǎn)易化

無(wú)標樣測量方法可進(jìn)行***多5層的膜厚測量

●自動(dòng)對焦功能和距離修正功能

凹凸落差的樣品可通過(guò)薄膜EP法做成的相同測定條件進(jìn)行測量

●靈敏度提高

鍍層測量時(shí)間比本公司原有機型縮短了1/2

●生成報告功能

***鍵生成測量報告書(shū)

3.廣域樣品觀(guān)察

對測量平臺（250mm*200mm）上放置的樣品拍攝***張靜態(tài)畫(huà)面后，可在獲取的廣域觀(guān)察圖像上指定狹域的觀(guān)察位置。由此，可大幅減少多數測量點(diǎn)位置的選取時(shí)間，以及在圖像上難以尋找的特定點(diǎn)位置的選定時(shí)間。

●廣域圖像觀(guān)察輕松定位