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IN-2000型雙光路高精度紫外臭氧分析儀

         本產(chǎn)品是同類(lèi)產(chǎn)品中的高精確度高品質(zhì)臭氧分析儀，它目前主要用于半導體、芯片、CVD，ALD等領(lǐng)域。由于它優(yōu)異的品質(zhì)，使得它成為那些需要長(cháng)時(shí)期、高穩定地提供連續測量和工藝控制的客戶(hù)的正確選擇，長(cháng)期使用的所有者成本低。是監測氣體發(fā)生設備、氣柜、氣體輸送系統以及半導體設備的臭氧濃度的理想選擇。也可用于環(huán)境監測、職業(yè)衛生和科學(xué)研究。

主要特點(diǎn)：

微機控制                        紫外吸收技術(shù)

可訂購多達5個(gè)取樣點(diǎn)              壓力和溫度補償能力

內置現場(chǎng)編程，可編次序               定光學(xué)系統

每通道4-20mA隔離輸出                 每通道雙報警

主要技術(shù)規格

l          取樣點(diǎn)數量：1，3或5個(gè)內置式多通道閥

l          量程：0-1ppm，0-10ppm，0-100ppm, 或 0-1000ppm可選。

l          精度等***：5ppb(0-1ppm量程)，0.01ppm(0-10ppm量程)，0.1ppm(0-100ppm量程)，

l          分辨率高：0.001ppm(0-1PPM)，0.01ppm(0-10PPM)

l          流量：內置泵，流量可調（不大于2L/m）

l          輸出：模擬4～20mA，以及數字輸出

l          CE認證；內部自；RS-232通訊接口